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第一篇：事故調(diào)查報(bào)告

一、事故概況

20xx年5月25日上午9時(shí)左右， 25#樓北側(cè)中段部位起火，項(xiàng)目部在第一時(shí)間組織施工現(xiàn)場人員趕到事故現(xiàn)場，組織人員進(jìn)行滅火，。與此同時(shí)，項(xiàng)目部相關(guān)人員在第一時(shí)間向監(jiān)理、業(yè)主及相關(guān)主管部門進(jìn)行電話匯報(bào)，當(dāng)日上午9時(shí)20分左右，項(xiàng)目部將火災(zāi)撲滅。經(jīng)事后調(diào)查，本次火災(zāi)事故未造成人員傷亡，過火面積約5m2左右，直接經(jīng)濟(jì)損失尚在統(tǒng)計(jì)中。

二、事故原因分析

事故發(fā)生時(shí)本工程專業(yè)分?..正在25#樓中段進(jìn)行吊籃施工，現(xiàn)在已查明，由于一名焊工在樓頂進(jìn)行電焊作業(yè)時(shí)，未采取施焊下方接火斗設(shè)置措施，也未在作業(yè)面邊上放置滅火器，同時(shí)施焊作業(yè)下方也未安排人員進(jìn)行看護(hù)，導(dǎo)致帶火星焊渣掉入下方施工產(chǎn)生的垃圾內(nèi)，從而引燃垃圾發(fā)生火災(zāi)。

三、事故教訓(xùn)

盡管本次失火事故得到了及時(shí)撲救，且未造成人員傷亡，但也給我項(xiàng)目部乃至公司的安全管理又一次敲響警鐘，認(rèn)真牢記本次事故教訓(xùn)，始終堅(jiān)持“安全第一，預(yù)防為主，綜合治理”的方針，加強(qiáng)施工現(xiàn)場安全管理，以杜絕類似事故的再次發(fā)生。

四、防范措施

1、我項(xiàng)目部將再次組織作業(yè)人員進(jìn)行安全教育和培訓(xùn)，提高其安全意識(shí)，增強(qiáng)安全操作技能，對(duì)特種作業(yè)人員必須嚴(yán)格進(jìn)行持證上崗，堅(jiān)決杜

絕無證上崗的情況發(fā)生。

2、作為總承包施工單位，我項(xiàng)目部將對(duì)分包單位的施工情況加強(qiáng)監(jiān)督管理，如發(fā)現(xiàn)事故隱患，將在業(yè)主和監(jiān)理的`配合下，對(duì)相關(guān)責(zé)任單位采取嚴(yán)厲措施，勒令其整改或停止作業(yè)，直至整改完成。

3、對(duì)項(xiàng)目管理人員再次明確相關(guān)管理職責(zé)，采取強(qiáng)力手段加強(qiáng)日常安全生產(chǎn)的監(jiān)督檢查。

第二篇：社會(huì)調(diào)查報(bào)告500字

近年來，隨著地區(qū)經(jīng)濟(jì)的迅猛發(fā)展，環(huán)境污染問題也越來越嚴(yán)重，防止環(huán)境污染，保護(hù)環(huán)境，維持生態(tài)平衡，已成為社會(huì)發(fā)展的一項(xiàng)重要舉措，也是每個(gè)公民應(yīng)盡的義務(wù)。

以下是實(shí)地調(diào)查出來的報(bào)告：

造成環(huán)境污染的污染源是：1、公共廁所排出的糞便散發(fā)出難聞的氣味，讓人惡心。2、工廠排出的廢水又黑又臭，還浮著一些穢物。3、工廠排出的廢氣很刺鼻，會(huì)散發(fā)到小鎮(zhèn)的各個(gè)角落。4、化肥廠排出的氣體中含有粉塵、鉛、煤灰等對(duì)人體有害的物質(zhì)。5、公園的草坪上常有游人丟棄的垃圾，既不衛(wèi)生，又影響市容。

造成環(huán)境污染的污染物是：廢水、廢氣、糞便、腐肉、塑料袋、木筷，垃圾等。

污染物對(duì)環(huán)境和生物有很大的危害：使空氣變得渾濁，對(duì)人的肺部有很大危害;生活垃圾處理不好會(huì)滋生細(xì)菌，嚴(yán)重影響人的健康;污水會(huì)影響生活水，直接侵害人體。

看了這么多，你是不是對(duì)目前的環(huán)境有些憂慮呢?對(duì)，環(huán)境與我們的生活密切相關(guān)，保護(hù)環(huán)境衛(wèi)生從我做起，從現(xiàn)在做起：不隨地吐痰;不亂扔垃圾;拒絕使用一次性木筷;廢棄電池和塑料袋要處理好;多植樹造林，不踐踏草坪;不污染水源。保護(hù)環(huán)境，我們責(zé)無旁貸!

第三篇：調(diào)查報(bào)告

你的薪酬是超值，還是單位給你發(fā)少了?12日，廣東省人社廳首次發(fā)布“XX年廣東省人力資源市場工資指導(dǎo)價(jià)位”。按統(tǒng)計(jì)情況，本科生最高月薪指導(dǎo)價(jià)位為25778元，平均月薪指導(dǎo)價(jià)位是6505元。

通過對(duì)全省1萬戶用工監(jiān)測企業(yè)人工成本情況、在崗職工工資報(bào)酬情況進(jìn)行調(diào)查，調(diào)查對(duì)象涵蓋住宿和餐飲業(yè)，制造業(yè)，批發(fā)和零售業(yè)，電力、熱力、燃?xì)饧八a(chǎn)和供應(yīng)業(yè)等18個(gè)行業(yè)門類的勞動(dòng)者。通過對(duì)勞動(dòng)者薪酬進(jìn)行系統(tǒng)統(tǒng)計(jì)分析，最終測算出去年廣東勞動(dòng)力工資指導(dǎo)價(jià)位。

統(tǒng)計(jì)顯示，廣東所有職業(yè)最高月均工資指導(dǎo)價(jià)位為12393元，最低為1239元，平均為3318元;單位、企業(yè)負(fù)責(zé)人最高工資指導(dǎo)價(jià)位為27265元，最低為1496元，平均為6226元。

平均工資指導(dǎo)價(jià)位過萬的有文學(xué)藝術(shù)工作人員(10318)、海洋工程技術(shù)人員(10623)、科學(xué)研究與技術(shù)服務(wù)企業(yè)負(fù)責(zé)人(11944)、金融業(yè)企業(yè)負(fù)責(zé)人(13705)、“煙草及其制品加工人員”(13948元)。

從企業(yè)屬性上看，中央企業(yè)負(fù)責(zé)人平均月薪指導(dǎo)價(jià)位是10227元，中型企業(yè)的金融業(yè)務(wù)人員月薪11802元。

從學(xué)歷上看，研究生(含博士、碩士)最高指導(dǎo)價(jià)位為49299，最低為1344元，平均數(shù)為9244元;大學(xué)本科最高為25778元，最低位1654元，平均為6505元;專科最高為15699元，最低位1467元，平均為4495元。

第四篇：產(chǎn)品市場調(diào)查報(bào)告范文

一、前言

隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，時(shí)代的進(jìn)步，消費(fèi)者對(duì)香水的的需求越來越大。在傳統(tǒng)百貨中，香水也有不可忽視的市場。近年一年新百香水的銷量在化妝品銷售中大概占到4%的比例，消費(fèi)者的香水消費(fèi)還沒有形成氣候，但是與往年相比，香水銷量有可觀的增幅，這就表明消費(fèi)者的奢侈品消費(fèi)意識(shí)在增強(qiáng)，香水市場越來越呈現(xiàn)出年輕化的趨勢。在此種香水消費(fèi)市場中，隨著中國風(fēng)氣的日漸變化，品牌香水越來越受到大眾的歡迎，在各種國際國內(nèi)香水品牌中，香奈兒日漸深入人心。以下則是根據(jù)網(wǎng)絡(luò)問卷調(diào)查數(shù)據(jù)進(jìn)行的具體分析：

二、數(shù)據(jù)分析：

此次調(diào)查充分利用網(wǎng)絡(luò)的方便快捷的優(yōu)點(diǎn)，采取網(wǎng)絡(luò)問卷調(diào)查方式，主要是在問卷星網(wǎng)站上發(fā)問卷，并且通過匿名郵件方式向網(wǎng)絡(luò)好友發(fā)放網(wǎng)址銜接來完成問卷的填寫。發(fā)放180封郵件，最終問卷統(tǒng)計(jì)有效數(shù)據(jù)為82份。此次問卷填寫的對(duì)象年齡段在20歲到40歲之間，而以20-30歲居多。在這些問卷填寫的對(duì)象中，20%左右是學(xué)生，其余80%則是一些管理、公關(guān)和專業(yè)人士，男女比例為4：

6。因?yàn)榇髮W(xué)生不是高檔香水的主要市場，它的市場一般在追求時(shí)尚并且有一定經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)的時(shí)尚人士。采用一般的發(fā)放問卷調(diào)查不能很好的抓住香水消費(fèi)者，于是我們采取了網(wǎng)絡(luò)調(diào)查來更好的掌握香奈兒香水的市場占有情況。以下是對(duì)現(xiàn)對(duì)已有數(shù)據(jù)進(jìn)行分析：

市場占有率分析

據(jù)網(wǎng)絡(luò)問卷調(diào)查分析，香奈兒是市場占有率為30%，在眾多名牌香水中居于榜首，雅詩蘭黛居于其次，占市場的16%，三宅一生占市場比重的12%，蘭蔻和迪奧則分別占市場比重的10%，剩余22%則是其他品牌香水的市場比重。由此可見香奈兒的市場占有率是相當(dāng)大的。

滿意度分析

在此次調(diào)查中發(fā)現(xiàn)在香奈兒的滿意度調(diào)查中，香奈兒的滿意度高達(dá)58%，其中30%的人表示很滿意；但是也有16%的人對(duì)香奈兒表示不滿意，其中6%的持特別不滿意的態(tài)度。這對(duì)于香奈兒香水的品牌忠誠度構(gòu)成一定的威脅。

了解途徑

調(diào)查顯示，了解香水的途徑主要是通過電視廣告和網(wǎng)絡(luò)廣告，同時(shí)，相關(guān)的報(bào)刊雜志廣告也是不可小覷的。在此次調(diào)查中我們發(fā)現(xiàn)，通過電視廣告和網(wǎng)絡(luò)廣告了解品牌香水的分別占20%和18%，通過報(bào)刊、雜志廣告來了解香水的共占25%左右。由此我們可以通過加大電視、網(wǎng)絡(luò)廣告宣傳和報(bào)刊、雜志來增大香奈兒的品牌知名度。

選擇因素

經(jīng)調(diào)查數(shù)據(jù)分析顯示，消費(fèi)者選擇香奈兒香水主要依據(jù)產(chǎn)品質(zhì)量、知名度和產(chǎn)品理念。價(jià)格、包裝和促銷活動(dòng)對(duì)消費(fèi)者的選擇也有一定的影響。在眾多影響因素中，產(chǎn)品質(zhì)量的影響力占32%，而品牌知名度和品牌理念的影響分別占22%和20%。依據(jù)調(diào)查我們可以根據(jù)所得的數(shù)據(jù)制定一系列的方案來過大消費(fèi)群體。比如：主要抓住產(chǎn)品質(zhì)量，進(jìn)一步擴(kuò)大產(chǎn)品知名度并確立統(tǒng)一并且明確的品牌理念。

三、營銷策略

為了是香奈兒香水在高檔香水市場占有更大的市場，本小組根據(jù)以上數(shù)據(jù)分析提出以下方案來達(dá)到這一目的：

（一）網(wǎng)絡(luò)營銷策略

隨著網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的高速發(fā)展，互聯(lián)網(wǎng)已成為廠商與消費(fèi)者之間交流和交易的重要媒介。利用互聯(lián)網(wǎng)進(jìn)行營銷已成為與傳統(tǒng)營銷相互競爭、相互補(bǔ)充的新的營銷形式。此次問卷的數(shù)據(jù)分析顯示，消費(fèi)者了解香奈兒香水很大程度是通過電視、網(wǎng)絡(luò)等媒介，而最好、最直接的表達(dá)方式則是廣告。因此我們可以在中國市場上采用廣告聯(lián)盟的方式，將廣告遍布大大小小的網(wǎng)站，廣告的點(diǎn)擊率將會(huì)比較高。與一般營銷相比，網(wǎng)絡(luò)營銷在技術(shù)上突破了時(shí)間和空間上的限制，會(huì)使香奈兒在任何時(shí)候都可以同顧客進(jìn)行跨區(qū)域的溝通。再加上現(xiàn)在的上班族以及各種宅男宅女都越來越喜歡在網(wǎng)上購物，已經(jīng)不再是傳統(tǒng)的逛街購物。所以說，網(wǎng)絡(luò)營銷策略是正確的選擇。

（二）體驗(yàn)營銷策略

一次良好的品牌體驗(yàn)（或一次糟糕的品牌體驗(yàn)）比正面或負(fù)面的品牌形象要強(qiáng)有力得多。香奈兒香水可以采用試用體驗(yàn)的策略，用戶只需要填寫真實(shí)信息和郵寄地址，就可以拿到試用裝。質(zhì)量好壞讓消費(fèi)者自己體驗(yàn)拚判。當(dāng)消費(fèi)者試用過本公司的產(chǎn)品后，就會(huì)同他們身邊的親戚朋友（也是香奈兒的潛在顧客）交流，就會(huì)產(chǎn)生正面的影響。在調(diào)查中我們也不拿看出親自體驗(yàn)和親朋好友的體驗(yàn)對(duì)于消費(fèi)者的選擇影響也是相當(dāng)大的，有11%的被調(diào)查者購買的香水都是朋友介紹的。所以，現(xiàn)實(shí)顧客體驗(yàn)的好就會(huì)帶動(dòng)潛在顧客。這樣既可以節(jié)省營銷成本，又可以把香水很好地銷售出去。

（三）多渠道營銷

多渠道的營銷推廣，加深了消費(fèi)者對(duì)香奈兒的品牌印記，當(dāng)接觸到試用的機(jī)會(huì)后，促成購買的可能也大大增加。

網(wǎng)絡(luò)的營銷策略能夠?qū)鞑サ狞c(diǎn)放大化，投入1分的成本看到的將會(huì)是10分的效應(yīng)。通過體驗(yàn)營銷的方式，直面消費(fèi)者，用產(chǎn)品去改變消費(fèi)者的消費(fèi)觀念。一旦能夠建立品牌信任，很有可能香奈兒香水在這個(gè)消費(fèi)者影響范圍內(nèi)就傳播開來，更多的人申請?jiān)囉?，更多人嘗試購買。

根據(jù)調(diào)查顯示，13%的消費(fèi)者是通過期刊雜志了解到香奈兒香水的，所以香奈兒可以在當(dāng)代最受歡迎的期刊雜志上投放一定篇幅的廣告，如瑞麗，昕薇，上海服飾等時(shí)尚雜志來不斷關(guān)注和提醒消費(fèi)者，自然會(huì)促成更多的購買決策和傳播影響。

同時(shí)，報(bào)刊也是一種必要的傳播渠道，調(diào)查數(shù)據(jù)顯示11%的消費(fèi)者通過報(bào)刊廣告來了解香水。如今社會(huì)實(shí)時(shí)和時(shí)尚是如今社會(huì)的主題，把香奈兒廣告投放到各地?zé)徜N報(bào)刊上對(duì)人們的視覺更有沖擊力。

（四）打破主力購買人群的障礙

從目前狀況來看，香水產(chǎn)品最大的消費(fèi)群體集中在20-30歲的中女性消費(fèi)者，許多品牌香水銷售的經(jīng)驗(yàn)已經(jīng)證實(shí)了這一點(diǎn)。因?yàn)檫@一年齡段的消費(fèi)者擁有較高的收入和講究，消費(fèi)中可以更從容的選擇。但從另一個(gè)角度可以看出不溫不火的香水市場其實(shí)還遠(yuǎn)未成熟，由于消費(fèi)觀念的影響，真正新興的顧客群還沒有光顧。比如針對(duì)男士的香水市場，中國文化講究含蓄，中國男人普遍傾向于選擇香味清談的香水，所以含香精量倒數(shù)第二的古龍水，可以預(yù)見成為中國接受香水文化男士的首選。香奈兒可以大力開拓這方向的市場。

（五）競爭策略

經(jīng)濟(jì)全球化使世界各國經(jīng)濟(jì)連成一體，使得國際市場競爭變得更加廣泛，復(fù)雜和激烈。想要在市場上占有一席之地，就必須要密切關(guān)注競爭對(duì)手的動(dòng)態(tài)。調(diào)查結(jié)果顯示，在同等檔次上，香奈兒香水市場最大的競爭者是雅詩蘭黛、蘭蔻、三宅一生、迪奧等國際品牌。所以香奈兒應(yīng)該時(shí)刻關(guān)注著這些品牌香水的促銷情況、銷售情況。并且對(duì)其采取的營銷策略做出相應(yīng)的回應(yīng)，或是跟進(jìn)，或是抗衡，或是回避。

以上闡述的各種營銷策略，僅是本小組根據(jù)香奈兒市場問卷調(diào)查中所反映的問題所提出相應(yīng)的策略。期望香奈兒市場的愈來愈廣。

第五篇：產(chǎn)品調(diào)研報(bào)告

國產(chǎn)光伏電池制造設(shè)備生存現(xiàn)狀

根據(jù)IMSResearch的研究，20xx年太陽能光伏制造設(shè)備的市場可能減半。由于太陽能光伏制造設(shè)備新需求顯著下跌，市場存在的現(xiàn)有設(shè)備的換代和升級(jí)需求有限，預(yù)計(jì)20xx年市場下跌超過55%。

近幾年來，太陽能光伏產(chǎn)品制造商紛紛投入巨資購買新光伏設(shè)備擴(kuò)大產(chǎn)能，以此來擴(kuò)大市場份額，同時(shí)讓自己成為可靠的大批量供貨商。雖然，這為最近太陽能光伏電池制造設(shè)備市場的繁榮起到了推波助瀾的作用，但是，這也導(dǎo)致了目前光伏設(shè)備制造商的產(chǎn)能過剩。

高級(jí)研究分析師TimDawson說：“根據(jù)IMSRsearch的估計(jì)，光伏電池制造設(shè)備市場收入在2011年達(dá)到創(chuàng)紀(jì)錄的128億美元，20xx年將會(huì)僅僅超過57億美元。大規(guī)模產(chǎn)能過剩，再加上需求下降，生產(chǎn)商在可能的情況下，要么推遲要么取消了光伏制造設(shè)備的訂單，至少短期內(nèi)事實(shí)情況就是這樣。

從長遠(yuǎn)來看，2013年光伏行業(yè)恢復(fù)增長是必然的，但是并不能預(yù)測將會(huì)出現(xiàn)強(qiáng)有力的V型復(fù)蘇。光伏制造設(shè)備市場將會(huì)穩(wěn)步恢復(fù)。畢竟，光伏生產(chǎn)商依然會(huì)希望再次在新設(shè)備上投資以保持競爭力，改善生產(chǎn)流程，提供電池效率，最終減少每瓦成本。

目前，我國光伏設(shè)備企業(yè)從硅材料生產(chǎn)、硅片加工、光伏電池片、光伏組件的生產(chǎn)以及相應(yīng)的純水制備、環(huán)保處理、凈化工程的建設(shè)、以及與光伏產(chǎn)業(yè)鏈相應(yīng)的檢測設(shè)備、模擬器等，已經(jīng)具備成套供應(yīng)能力，部分產(chǎn)品如擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)、單晶爐、多晶鑄錠爐、層壓機(jī)、檢測設(shè)備等開始出口。值得一提的是，硅材料加工設(shè)備中單晶爐以優(yōu)良的性價(jià)比占據(jù)了國內(nèi)市場的絕對(duì)統(tǒng)治地位并批量出口亞洲，多線切割機(jī)已取得突破，多晶硅鑄錠爐已經(jīng)開始大量在國內(nèi)企業(yè)中使用。

據(jù)中電四十八所提供數(shù)據(jù)顯示，在10個(gè)太陽能光伏電池制造生產(chǎn)線設(shè)備中，國產(chǎn)設(shè)備已能提供其中的8種，其中有6種（擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)、清洗/制絨機(jī)、去磷硅玻璃（PSG）設(shè)備、低溫烘干爐）已在國內(nèi)生產(chǎn)線上占據(jù)主導(dǎo)地位，2種（管式PECVD、快速燒結(jié)爐）與進(jìn)口光伏設(shè)備并存但份額正逐步增大。但是，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)、自動(dòng)分揀機(jī)、平板式PECVD仍然依賴進(jìn)口。目前國內(nèi)光伏電池注流建線方案為國產(chǎn)和進(jìn)口設(shè)備混搭，基本以國產(chǎn)為主。設(shè)備投資方面，一條25MW的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)線需3400―6000萬元。

我國光伏電池制造設(shè)備的技術(shù)水平

首先，在濕法腐蝕、清洗設(shè)備、擴(kuò)散方面，主要是自動(dòng)制絨設(shè)備、自動(dòng)清洗設(shè)備、全封閉擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、去PSG設(shè)備等國內(nèi)已經(jīng)能夠制造，已經(jīng)達(dá)到世界先進(jìn)水平，且性價(jià)比優(yōu)勢十分明顯；國產(chǎn)PECVD（管式）的工藝結(jié)果已接近世界先進(jìn)水平，這是這種設(shè)備的優(yōu)勢。但它的自動(dòng)化程度（自動(dòng)裝卸片）不如進(jìn)口設(shè)備（進(jìn)口設(shè)備如德國Centrotherm公司產(chǎn)品，售價(jià)是國產(chǎn)設(shè)備的三倍左右），平板型PECVD目前國內(nèi)已有企業(yè)生產(chǎn)，有待進(jìn)一步驗(yàn)證；第三，國產(chǎn)絲網(wǎng)印刷機(jī)（只有手動(dòng)），與進(jìn)口自動(dòng)化產(chǎn)品的差距也是在自動(dòng)裝卸片（機(jī)械手）和自動(dòng)檢測手段上，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已有企業(yè)生產(chǎn)，工藝有待進(jìn)一步驗(yàn)證；第四，高溫?zé)Y(jié)爐技術(shù)提高，開始批量在大線上使用；第五，自動(dòng)檢測分揀設(shè)備目前國內(nèi)已達(dá)到國際中等水平。

然而，盡管國產(chǎn)太陽能光伏設(shè)備在國內(nèi)用戶中已建立起良好的信譽(yù)，得到業(yè)界的廣泛認(rèn)可，越來越多的客戶從價(jià)格適中、性能良好、技術(shù)不斷進(jìn)步的國產(chǎn)設(shè)備中受益。但我們也應(yīng)該看到，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商在整體技術(shù)水平尤其是尖端技術(shù)水平上和國外廠商尚有差距。業(yè)內(nèi)專家指出，國產(chǎn)太陽能光伏設(shè)備的競爭力不完全在于設(shè)備的性能指標(biāo)，而在于設(shè)備的性能價(jià)格比。成本是太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的終極目標(biāo)，業(yè)內(nèi)有句話，光伏設(shè)備沒有最好的，只有最合適的。據(jù)了解，建設(shè)一條太陽能電池生產(chǎn)線，70%以上的投資是用來購買設(shè)備，而國產(chǎn)設(shè)備的價(jià)格平均只有國外產(chǎn)品的1/3―1/2，采用國產(chǎn)設(shè)備輔以少量進(jìn)口設(shè)備，可以將建線成本降低一半以上。

清洗/制絨設(shè)備：單晶硅光伏電池槽式基本國產(chǎn)，多晶硅電池連續(xù)式進(jìn)口居多

當(dāng)前環(huán)境下，國內(nèi)清洗設(shè)備企業(yè)正直面生存和發(fā)展的問題。調(diào)查中發(fā)現(xiàn)，面對(duì)這場全球性的危機(jī)，電池清洗設(shè)備企業(yè)在擔(dān)憂的同時(shí)，應(yīng)對(duì)未來發(fā)展持謹(jǐn)慎樂觀態(tài)度。擔(dān)憂的是這場風(fēng)險(xiǎn)對(duì)那些發(fā)展不好、實(shí)力不強(qiáng)的企業(yè)影響很大，樂觀的是清洗機(jī)行業(yè)仍然是全球和我國持續(xù)發(fā)展的新材料產(chǎn)業(yè)。過去幾年來，清洗機(jī)國內(nèi)產(chǎn)量快速增長和外貿(mào)出口量不斷加大，產(chǎn)業(yè)不斷擴(kuò)張，這造成了當(dāng)前大量清洗機(jī)開始“倒向”國內(nèi)市場。國內(nèi)清洗機(jī)行業(yè)因國內(nèi)外市場的需求萎縮，企業(yè)出現(xiàn)限產(chǎn)和停產(chǎn)的狀況。

在太陽能電池企業(yè)，目前在清洗制絨方式上采用的設(shè)備方式一般有三種：一種是效率不高但很實(shí)用的手動(dòng)操作清洗設(shè)備；第二種是分體式全自動(dòng)清洗，即清洗、制絨工序各用相關(guān)設(shè)備；第三種是目前較流行的一體式清洗機(jī)，從研磨片到電池片一步到位。以上三種方式各有利弊：手動(dòng)操作盡管慢，但對(duì)于產(chǎn)量不大，人力成本低的廠家來說是很好的選擇；分體式清洗機(jī)對(duì)硅片參數(shù)要求不高，效率也比較高，較容易找出電池片出問題的所在；一體式清洗機(jī)效率高，自動(dòng)化程度高，但對(duì)硅片尺寸要求嚴(yán)格，維護(hù)起來也不太方便。

制絨工藝比較復(fù)雜，不同公司有各自獨(dú)特的制絨方法?；镜墓に嚵鞒虨椋荷狭稀鶫F+HNO3腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→KOH腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→HCl腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→下料→離心機(jī)甩干（離線）。使用到的化學(xué)添加劑有兩種，一種是IPA（異丙醇），另一種是工業(yè)酒精。目前國內(nèi)的清洗制絨設(shè)備以達(dá)到了國際先進(jìn)水平，體現(xiàn)在以下方面：全程PLC控制，觸摸屏操作；采用新型勻液及風(fēng)道設(shè)計(jì)技術(shù)，降低清洗成本，減少污物的排放；新的密封隔離技術(shù)的使用，杜絕了生產(chǎn)過程中的微漏，保護(hù)整體電氣系統(tǒng)的安全；槽體配置可實(shí)現(xiàn)腐蝕后殘留在片子上的化學(xué)液及污染顆粒的沖洗祛除功能；大多采用機(jī)械手方式移動(dòng)，工藝時(shí)間可以自行調(diào)節(jié)；酸堿槽具有自動(dòng)補(bǔ)液裝置，可實(shí)現(xiàn)無間斷生產(chǎn)；整個(gè)清洗、制絨過程中使用環(huán)保的清洗制絨液，降低了后續(xù)處理成本；最重要的是融合熱氮烘干功能，取代甩干機(jī)，大大降低了碎片率。以上技術(shù)在調(diào)查中，基本以槽式機(jī)為主，在濕法制絨（連續(xù)式）及等離子（干法）制絨機(jī)方面國內(nèi)正在研發(fā)，試驗(yàn)工藝已取得一定進(jìn)展。

國內(nèi)清洗制絨設(shè)備企業(yè)

國內(nèi)清洗制絨設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)有以下三種狀態(tài)：一是從國有企業(yè)轉(zhuǎn)型的老牌電子或半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)，代表企業(yè)有：中電四十八所（能提供完整的電池生產(chǎn)線）、西北電子裝備技術(shù)研究所（中電二所）、中電四十五所、保定天威新能源等；二是新近崛起的典型電子或半導(dǎo)體企業(yè)，代表企業(yè)有：北京七星華創(chuàng)、深圳捷佳創(chuàng)、北京華林嘉業(yè)、北京中聯(lián)科利、蘇州華林科納、青島賽瑞達(dá)等；三是水處理或超聲波設(shè)備公司轉(zhuǎn)型，代表企業(yè)有：深圳市恒通源、深圳市和科達(dá)、張家港聲達(dá)超聲設(shè)備、深圳市超純水、深圳市純水一號(hào)、張家港德科超聲、上海睿鵬清洗設(shè)備等。

擴(kuò)散爐：經(jīng)歷了開管――閉管――全封閉擴(kuò)散三個(gè)階段，絕大部分電池企業(yè)采用國產(chǎn)裝備上個(gè)世紀(jì)60年代由于國產(chǎn)光伏電池裝備技術(shù)落后，無法滿足電池工藝生產(chǎn)，一些電池廠家先后從國外引進(jìn)了鏈?zhǔn)綌U(kuò)散設(shè)備。1965年以前，這是我國擴(kuò)散爐出現(xiàn)階段，擴(kuò)散爐隨著半導(dǎo)體工藝的產(chǎn)生而出現(xiàn)，這一階段的國產(chǎn)擴(kuò)散爐水平與國外水平差距不大。進(jìn)入80年代我國電子工業(yè)專用裝備取得長足進(jìn)展，電池生產(chǎn)用擴(kuò)散設(shè)備回到管式擴(kuò)散。2001年，中國電子科技集團(tuán)48所與無錫尚德公司的攜手合作拉開了我國光伏電池生產(chǎn)用擴(kuò)散設(shè)備技術(shù)與配套工藝飛速發(fā)展的序幕。短短的幾年時(shí)間里，我國光伏專用擴(kuò)散設(shè)備經(jīng)歷了從處理125mm×125mm、156mm×156mm方硅片向210mm×210mm方硅片躍進(jìn)；擴(kuò)散的質(zhì)量從原來的單片和整管擴(kuò)散均勻性在7％以內(nèi)的水平，提高到目前單片和整管擴(kuò)散均勻性在4％以內(nèi)的國際先進(jìn)水平；擴(kuò)散方式從原來的開管擴(kuò)散到現(xiàn)在的環(huán)保、潔凈、節(jié)能、安全的全封閉擴(kuò)散；單批次產(chǎn)能從原來的150片、200片、300片發(fā)展到日前的400片；控制方式從原來的手動(dòng)、PLC半自動(dòng)控制到日前的微機(jī)全自動(dòng)控制。目前我國光伏電池裝備市場上共有各類擴(kuò)散設(shè)備上千多管，其中85％左右以處理125mm×125mm電池片為主，兼容156mm×156mm電池片，這其中又有90％以上為微機(jī)自動(dòng)控制設(shè)備，只有不到10％為手動(dòng)或PLC半自動(dòng)產(chǎn)品。

技術(shù)特點(diǎn)在整機(jī)設(shè)備向全自動(dòng)化、高生產(chǎn)效率、低成本擴(kuò)散、操作人性化發(fā)展的同時(shí)，其核心單元技術(shù)如溫度控制將不可避免地采用更精細(xì)的控制方式（內(nèi)外熱偶串級(jí)控制技術(shù)等）。通過對(duì)加熱部件和負(fù)載同時(shí)監(jiān)控，確保實(shí)際工藝溫度長期重復(fù)、穩(wěn)定可靠；工藝氣體流量控制將從目前的模擬向數(shù)字MFC（質(zhì)量流量控制器）發(fā)展，以實(shí)現(xiàn)更穩(wěn)定的工藝氣體流量控制。今后幾年內(nèi)，整機(jī)將向減壓擴(kuò)散、立式擴(kuò)散、鏈?zhǔn)綌U(kuò)散等方向發(fā)展，以適應(yīng)12＂及更大尺寸硅片的工藝要求，其單批次處理能力將達(dá)到更高的600～800片／批次。

國內(nèi)擴(kuò)散爐生產(chǎn)企業(yè)推薦

1、中電四十八所（長沙）：中電四十八所事業(yè)二部承擔(dān)著擴(kuò)散爐等其他太陽能光伏設(shè)備的生產(chǎn)，2008年，成功研制出了新型閉管擴(kuò)散爐――全封閉推舟軟著陸擴(kuò)散爐，2008年銷售數(shù)百臺(tái)之多，截至目前市場占有率在80%左右。包括其他光伏設(shè)備在內(nèi)，2008年銷售收入達(dá)10、15億元，新簽單5億多元。另外，2008年相繼為江西佳輝、神州光電等單位數(shù)十條生產(chǎn)線提供了除絲印機(jī)之外的整線裝備。今年一季度，中電四十八所銷售額達(dá)到收入4、1875億元，比去年同期增長70%以上，真正實(shí)現(xiàn)了在金融危機(jī)影響下彎道不減速。四十八所新型擴(kuò)散爐，單管產(chǎn)能高達(dá)400片，在產(chǎn)能提高33%的同時(shí)，能源消耗降低50%以上，廢氣排放降低到原來開管擴(kuò)散的1/10，能耗降低20%左右，平均單位擴(kuò)散成本降低20%以上。成功突破了爐門自動(dòng)密封、尾進(jìn)尾出送氣、廢氣自動(dòng)收集、三維送片機(jī)構(gòu)調(diào)整等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。達(dá)到國際先進(jìn)水平的大生產(chǎn)用新型太陽能電池生產(chǎn)專用擴(kuò)散設(shè)備，價(jià)格卻只有進(jìn)口同類設(shè)備的1/3。

2、北京七星華創(chuàng)：北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司（簡稱“七星電子”）傳承五十多年電子裝備及元器件的生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)，于2001年9月成立。七星華創(chuàng)于2007年研制出新型擴(kuò)散爐，具有四套獨(dú)立的工藝爐管，關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，采用進(jìn)口智能控制器，可輸出四個(gè)開關(guān)量，對(duì)爐溫、閥門動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制，并管理全部工藝時(shí)序，可編輯存貯十條工藝曲線實(shí)現(xiàn)為實(shí)現(xiàn)閉管擴(kuò)散工藝，所以必須進(jìn)行爐口密封，在這方面，七星華創(chuàng)經(jīng)過無數(shù)次的試驗(yàn)，包括數(shù)次失敗的考驗(yàn)，最終解決了這個(gè)棘手的難題：即在沒有任何水冷條件下，在工藝溫度高達(dá)900℃時(shí)，采用普通氟橡膠密封圈能夠使工藝管密封，并能夠長期工作。

3、株洲眾欣科技：株洲眾欣科技專注于磁流體領(lǐng)域，公司創(chuàng)辦人羅喜梅女士是國內(nèi)第一個(gè)把磁流體技術(shù)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)并運(yùn)用到真空領(lǐng)域的研發(fā)型企業(yè)家。2007年，眾欣科技通過和國內(nèi)的大專院校的多名專家學(xué)者細(xì)致交流，然后進(jìn)行了大量的市場實(shí)際調(diào)查，眾欣科技認(rèn)為擴(kuò)散在電池片當(dāng)中，起到?jīng)Q定性的作用。從提高轉(zhuǎn)換率以及降低生產(chǎn)成本出發(fā)，在現(xiàn)有市場上使用的擴(kuò)散爐技術(shù)方面進(jìn)行了革新，成功研發(fā)出新型“氣旋動(dòng)態(tài)”擴(kuò)散爐，截至目前已成功銷售3臺(tái)臥式“氣旋”擴(kuò)散爐。對(duì)于“動(dòng)態(tài)”擴(kuò)散的定義，眾欣科技是這樣解釋的，這是一個(gè)相對(duì)的概念，主要是針對(duì)硅片而言，現(xiàn)在市場上的硅片在擴(kuò)散的過程當(dāng)中都是靜止不動(dòng)的，而眾欣的動(dòng)態(tài)擴(kuò)散，就是硅片在整個(gè)擴(kuò)散過程中是一個(gè)運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)。由于硅片主動(dòng)地尋找擴(kuò)散，而不是象原來的被動(dòng)擴(kuò)散，所以這個(gè)動(dòng)態(tài)擴(kuò)散的均勻性在遠(yuǎn)離上面確實(shí)可行，該擴(kuò)散爐最大的特點(diǎn)體現(xiàn)在擴(kuò)散的效果上：保持方塊電阻片內(nèi)均勻性在3歐姆之內(nèi)，源的使用量減少使用量三分之一。今年七月，眾欣科技將為湘潭一企業(yè)提供六管動(dòng)態(tài)擴(kuò)散爐，即25MW生產(chǎn)線。同時(shí)，根據(jù)市場的需要，眾欣科技也可以提供動(dòng)態(tài)擴(kuò)散改造服務(wù)，為電池片生產(chǎn)廠家節(jié)約大量的生產(chǎn)成本和運(yùn)行費(fèi)用。

4、青島賽瑞達(dá)：青島賽瑞達(dá)設(shè)備制造有限公司由北京昊海立德科技有限公司注資的高新技術(shù)企業(yè)，是集開發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的專業(yè)廠家。具有自主研制、設(shè)計(jì)和開發(fā)半導(dǎo)體專用工藝設(shè)備、包裝機(jī)械、智能化儀表等產(chǎn)品的能力，同時(shí)可根據(jù)用戶的不同需求進(jìn)行設(shè)計(jì)和開發(fā)，并且具備改造、裝備國外二手設(shè)備的能力。該公司擴(kuò)散爐為閉管磷擴(kuò)散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、CL2分開收集處理，工藝廢氣集中收集從尾部定向排出，各種工藝氣體可分開送入石英管內(nèi)，工藝氣體（三氯氧磷）可采用噴淋式方式引入到石英管內(nèi)，采用懸臂式推拉舟送取電池片，另采用側(cè)面布局的懸臂推拉結(jié)構(gòu)，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機(jī)構(gòu)受腐蝕，影響推拉機(jī)構(gòu)的精確性。

等離子刻蝕機(jī)――干法腐蝕設(shè)備全部國產(chǎn)為主，少量濕法腐蝕設(shè)備需要進(jìn)口

由于在擴(kuò)散過程中，即使采用背靠背擴(kuò)散，硅片的所有表面包括邊緣都將不可避免地?cái)U(kuò)散上磷。PN結(jié)的正面所收集到的光生電子會(huì)沿著邊緣擴(kuò)散有磷的區(qū)域流到PN結(jié)的背面，而造成短路。因此，必須對(duì)太陽能電池周邊的摻雜硅進(jìn)行刻蝕，以去除電池邊緣的PN結(jié)。通常采用等離子刻蝕技術(shù)完成這一工藝，等離子刻蝕是在低壓狀態(tài)下，反應(yīng)氣體CF4的母體分子在射頻功率的激發(fā)下，產(chǎn)生電離并形成等離子體。等離子體是由帶電的電子和離子組成，反應(yīng)腔體中的氣體在電子的撞擊下，除了轉(zhuǎn)變成離子外，還能吸收能量并形成大量的活性基團(tuán)?；钚苑磻?yīng)基團(tuán)由于擴(kuò)散或者在電場作用下到達(dá)SiO2表面，在那里與被刻蝕材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并形成揮發(fā)性的反應(yīng)生成物脫離被刻蝕物質(zhì)表面，被真空系統(tǒng)抽出腔體。在等離子體刻蝕機(jī)使用過程中，等離子體不能一直保持在某一穩(wěn)定狀態(tài)，有許多因素會(huì)對(duì)刻蝕機(jī)系統(tǒng)產(chǎn)生擾動(dòng)，如刻蝕機(jī)的定期維護(hù)（PM）、反應(yīng)腔室內(nèi)壁聚合物的沉積、設(shè)備部件的老化（傳感器及各種其他容易磨損的部件），以及未經(jīng)測量的進(jìn)入反應(yīng)腔室的晶片狀態(tài)的差異等。在不同的時(shí)間尺度范圍內(nèi)，刻蝕機(jī)產(chǎn)生漂移的原因是不同的，因而需要采用相應(yīng)的控制類型加以控制。PM與PM之間，刻蝕機(jī)要經(jīng)歷定期的清洗、部件的更換和維修等，這些都能對(duì)刻蝕工藝產(chǎn)生影響?？涛g機(jī)定期維護(hù)的目的是讓反應(yīng)腔室每次都能恢復(fù)到同樣的理想狀態(tài)，而這通常是很難達(dá)到的。因而會(huì)在前一個(gè)刻蝕機(jī)定期維護(hù)快結(jié)束之時(shí)到下一次刻蝕機(jī)定期維護(hù)開始后的一段時(shí)間發(fā)生工藝狀態(tài)的不連續(xù)。在一個(gè)刻蝕機(jī)定期維護(hù)周期之內(nèi)，刻蝕機(jī)狀態(tài)的改變主要是由于刻蝕產(chǎn)生的殘余聚合物在反應(yīng)腔室內(nèi)的沉積，以及易損件及可更換部件的磨損所引起的。

干法刻蝕（ICP）是目前主流的刻蝕設(shè)備工藝，它采用射頻輝光放電將參與反應(yīng)的化學(xué)氣體電離形成等離子體，通過對(duì)刻蝕參數(shù)精確的控制和測量，把光刻形成的電路圖轉(zhuǎn)移到硅片上形成三維結(jié)構(gòu)。其間融合了等離子體、射頻、超高真空、自動(dòng)化控制等多種尖端技術(shù)，是電池片制造過程中至關(guān)重要的一環(huán)。綜觀國內(nèi)刻蝕設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)，具有以下特點(diǎn)：采用片架旋轉(zhuǎn)密封技術(shù)，提高刻蝕的均勻性；硅片放置自動(dòng)壓緊技術(shù)，減少了鉆蝕風(fēng)險(xiǎn)；ICP技術(shù)的形成及引入，提高了設(shè)備的各種效率；特別是大容量反應(yīng)室的設(shè)計(jì)，大大提高了電池片的處理能力。

國內(nèi)等離子刻蝕機(jī)設(shè)備企業(yè)推薦

1、中科院微電子研究所：中國科學(xué)院微電子研究所“六五”、“七五”、“八五”、“九五”一直承擔(dān)等離子刻蝕技術(shù)領(lǐng)域的國家科技攻關(guān)項(xiàng)目。研究成功深亞微米刻蝕技術(shù)并先后研制生產(chǎn)了實(shí)驗(yàn)研究用RIE、MERIE和ICP高密度等離子體刻蝕機(jī)系列。該研究所的SE―3型刻蝕機(jī)通過PLC完成刻蝕太陽能電池的程序控制功能，能完成除了裝片和卸片以外的全部生產(chǎn)過程的連續(xù)動(dòng)作和自動(dòng)保護(hù)等功能。具有良好的人機(jī)界面，使用方便、重復(fù)性好。另外，該機(jī)型因鉆蝕引起的硅片邊緣損耗?。s1mm左右），有利于提高太陽能電池片的效率，且每批的一致性相當(dāng)好，刻蝕片超過500片/次，工藝過程全部實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。

2、中電四十八所：四十八所刻蝕機(jī)具有以下特點(diǎn)，采用立式感應(yīng)耦合等離子體（ICP）技術(shù)；工藝過程全自動(dòng)控制，壓力閉環(huán)全自動(dòng)控制；工藝重復(fù)性好，刻蝕速度快（6寸電池片1200片以上/每小時(shí)，5寸電池片2000片左右/每小時(shí)）；批處理時(shí)間短、產(chǎn)量大；所有電氣元件均采用插拔式，便于維修和更換；適用于大批量生產(chǎn)。真空泵是干泵，MFC、真空規(guī)等都是MKS的。如行業(yè)內(nèi)知名的Q―Cell、Sharp、BP等企業(yè)都在用四十八所的干法刻蝕設(shè)備。

3、武漢三工：三工相關(guān)負(fù)責(zé)人解釋該公司刻蝕設(shè)備時(shí)講道，三工的激光絕緣電池片刻蝕機(jī)可以代替等離子刻蝕，該設(shè)備采用半導(dǎo)體端面泵浦紫外激光器及掃描振鏡輸出方式，與生產(chǎn)流水線配合，自動(dòng)上下料，自動(dòng)進(jìn)出料。CCD自動(dòng)識(shí)別跟蹤定位，可以滿足生產(chǎn)線節(jié)拍（1200片/小時(shí)）。這是在電池片生產(chǎn)過程中少數(shù)的激光刻蝕設(shè)備。

4、北京七星華創(chuàng)：七星華創(chuàng)生產(chǎn)兩種類型的刻蝕機(jī)，分別為MCP刻邊機(jī)及周邊刻蝕系統(tǒng)。其中，MCP刻邊機(jī)采用不銹鋼材質(zhì)做反應(yīng)腔室，解決了同類產(chǎn)品石英腔體在使用過程中，頻繁更換腔體帶來的消耗，降低了維護(hù)成本。另外電極內(nèi)置，克服了石英腔體外置電極在空氣中易產(chǎn)生臭氧及射頻泄漏的危害，提供了良好的使用環(huán)境。電池片處理數(shù)量在400―800片/批（特別適用于25MW―30MW生產(chǎn)線）。周邊刻蝕系統(tǒng)可處理硅片尺寸156×156mm，處理能力在300片/小時(shí)，真空壓力調(diào)節(jié)形式為自動(dòng)。

去磷硅玻璃（PSG）設(shè)備全部國產(chǎn)，基本以清洗設(shè)備制造企業(yè)為代表該設(shè)備用于光伏電池片生產(chǎn)制造過程中，通過化學(xué)腐蝕法也即把硅片放在氫氟酸溶液中浸泡，使其產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成可溶性的絡(luò)和物六氟硅酸，以去除擴(kuò)散制結(jié)后在硅片表面形成的一層磷硅玻璃。在擴(kuò)散過程中，POCL3與O2反應(yīng)生成P2O5淀積在硅片表面。P2O5與Si反應(yīng)又生成SiO2和磷原子，這樣就在硅片表面形成一層含有磷元素的SiO2，稱之為磷硅玻璃。去磷硅玻璃的設(shè)備一般由本體、清洗槽、伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、機(jī)械臂、電氣控制系統(tǒng)和自動(dòng)配酸系統(tǒng)等部分組成，主要?jiǎng)恿υ从袣浞?、氮?dú)?、壓縮空氣、純水，熱排風(fēng)和廢水。國產(chǎn)去除PSG設(shè)備關(guān)鍵件大多采用進(jìn)口件，產(chǎn)能在1800―2400片左右/小時(shí)（大多適合于25MW―30MW生產(chǎn)線）。

國內(nèi)去除PSG設(shè)備基本以本文上期介紹的清洗設(shè)備廠家生產(chǎn)為主，故不再概述。

管式PECVD基本國產(chǎn)，平板式PECVD國內(nèi)已研發(fā)出來，已面市PECVD設(shè)備，通過沉積氮化硅膜來實(shí)現(xiàn)太陽能電池減反射以及鈍化的效果。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體進(jìn)行化學(xué)氣相沉積的過程。其特點(diǎn)是電子密度高、電子平均能量大，富含大量化學(xué)氣相沉積的活性粒子和自由基，并且沉積溫度低。在采用SiH4和NH3作為源氣體沉積SiNx薄膜的過程中，由于大量氫原子的存在，使所生成的薄膜除了注冊香港公司具有減反射性能外，兼具有良好的表面和體鈍化性能，這是因?yàn)樵陔x子的轟擊下，氫原子更容易擴(kuò)散進(jìn)入薄膜體內(nèi)，從而提高膜的體鈍化效果。不僅如此，PECVD等離子體中由于含有高密度的離子，這些具有一定動(dòng)能的離子對(duì)沉積的減反射鈍化膜進(jìn)行轟擊，還會(huì)提高膜的質(zhì)密性和應(yīng)力。故PECVD設(shè)備是晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線制備減反射鈍化膜的主要設(shè)備。與此同時(shí)，PECVD設(shè)備也是整條太陽能電池生產(chǎn)線的核心設(shè)備之一，應(yīng)用于晶體硅太陽電池生產(chǎn)線的PECVD設(shè)備價(jià)格已經(jīng)占到了整條線設(shè)備價(jià)格的三分之一左右，是所有設(shè)備中比重最大的一部分。國內(nèi)第一臺(tái)半導(dǎo)體用PECVD設(shè)備是由中科院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司研發(fā)的，零部件國產(chǎn)化率達(dá)到了70%左右。目前市場上主流的PECVD設(shè)備技術(shù)按照反應(yīng)器結(jié)構(gòu)和等離子體發(fā)生源的不同，分為直接式PECVD和間接式PECVD。直接式即樣品直接接觸等離子體，樣品或樣品的支撐體就是電極的一部分；間接式或稱離域式即待沉積的樣品在等離子區(qū)域之外，等離子體不直接打到樣品表面，樣品或其支撐體也不是電極的一部分。

直接式又分成兩種：一種為管式PECVD系統(tǒng)，即使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個(gè)可以放置多片硅片的石墨舟插進(jìn)石英管中進(jìn)行沉積。這種設(shè)備的主要制造商為德國的Centrotherm公司、中國的第四十八研究所、七星華創(chuàng)公司。另一種為平板式PECVD系統(tǒng)，即將多片硅片放置在一個(gè)石墨或碳纖維支架上，放入一個(gè)金屬的沉積腔室中，腔室中有平板型的電極，與樣品支架形成一個(gè)放電回路，在腔室中的工藝氣體在兩個(gè)極板之間的交流電場的作用下在空間形成等離子體，分解SiH4中的Si和H，以及NH3種的N形成SiNx沉積到硅表面。這種沉積系統(tǒng)目前主要是日本島津公司在進(jìn)行生產(chǎn)。

但與管式PECVD設(shè)備相比，平板式PECVD具備產(chǎn)能大、裝卸片容易，易于自動(dòng)化集成等優(yōu)點(diǎn)，但到目前為止，國產(chǎn)設(shè)備市場上仍未真正出現(xiàn)相關(guān)的成熟產(chǎn)品，但國產(chǎn)樣機(jī)已完成研發(fā)，單元技術(shù)獲得一定的突破，部分關(guān)鍵零部件仍然要依賴進(jìn)口，工藝結(jié)果及穩(wěn)定性有待進(jìn)一步驗(yàn)證。在確保中低端設(shè)備持續(xù)向前發(fā)展的勢頭下，開發(fā)具有更高自動(dòng)化水平和單機(jī)生產(chǎn)效率的高端設(shè)備，提高整線生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，是太陽能電池制造設(shè)備發(fā)展的必然方向。大型平板PECVD設(shè)備的國產(chǎn)化，正令國內(nèi)客戶翹首以待。令人欣慰的是，國產(chǎn)平板PECVD設(shè)備的開發(fā)也確實(shí)正在緊鑼密鼓的進(jìn)行當(dāng)中，由北京北方微電子公司進(jìn)行的大型平板PECVD設(shè)備的自主研發(fā)，目前已經(jīng)接近尾聲，并于2009年第二季度推向市場。

國產(chǎn)PECVD設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)推薦

1、北方微電子：北方微電子研發(fā)的平板型PECVD設(shè)備成膜的均勻性、折射率、減反射效果以及各種工藝技術(shù)指標(biāo)都達(dá)到了世界先進(jìn)水平，經(jīng)過反復(fù)測試，具有良好的穩(wěn)定性和可維護(hù)性。采用獨(dú)有的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提升反應(yīng)室內(nèi)等離子場、溫度場、流體場和壓力場的均勻性，確保膜層具有優(yōu)良性能。采用10×10片的在線式架構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)每小時(shí)1500片的設(shè)計(jì)產(chǎn)量；可擴(kuò)展多工藝腔設(shè)計(jì)，按照客戶需求實(shí)現(xiàn)更大產(chǎn)能。該產(chǎn)品于今年二季度末推向市場，北方微電子建立了專門的電池生產(chǎn)線用于該產(chǎn)品測試。

2、中電四十八所：中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所2002年開始研制M82200―1／UM型生產(chǎn)型軟著陸管式PECVD設(shè)備，經(jīng)過大量工藝試驗(yàn)，多晶硅太陽能電池平均轉(zhuǎn)換效率在14．5％―15．5％之間，單晶硅太陽能電池平均轉(zhuǎn)換效率在16％―17％，基本接近國外設(shè)備的先進(jìn)水平。該管式設(shè)備采用了國內(nèi)獨(dú)一無二的、與國際先進(jìn)水平相當(dāng)?shù)能浿懲浦鬯推?、后電極自動(dòng)連接、自動(dòng)精密真空門等先進(jìn)技術(shù)，在產(chǎn)能提高一倍的同時(shí)，使氮化硅成膜質(zhì)量又一次得到提高，每管日產(chǎn)量4000片左右，目前已在多家太陽能生產(chǎn)線上使用，運(yùn)行狀況良好，在國內(nèi)生產(chǎn)型設(shè)備中處于領(lǐng)先地位。

3、北京七星華創(chuàng)：七星華創(chuàng)研究薄膜淀積技術(shù)和相關(guān)設(shè)備已多年，在“八五”攻關(guān)的工程中，研制生產(chǎn)的PECVD系統(tǒng)獲得國家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。但該公司以前的PECVD設(shè)備主要應(yīng)用于IC行業(yè)，在此基礎(chǔ)上七星華創(chuàng)對(duì)設(shè)備進(jìn)行較大的改進(jìn)以適應(yīng)于太陽能行業(yè)。在做了大量試驗(yàn)并參考了國外設(shè)備之后，最終于2007年成功研制出了雙管臥式熱壁型PECVD設(shè)備，并在當(dāng)年銷售四臺(tái)設(shè)備，銷售收入超過500多萬元。該設(shè)備采用石墨制作裝片舟用來承載硅片，并根據(jù)實(shí)際使用情況不斷改進(jìn)其結(jié)構(gòu)，逐步完善石墨舟的設(shè)計(jì)，使其更加適用于大規(guī)模太陽能電池生產(chǎn)線，目前每管生產(chǎn)率達(dá)96片/45min。在如何引入電極的方式上，也做了大膽的創(chuàng)新。該P(yáng)ECVD設(shè)備與進(jìn)口同類設(shè)備所用的尾部電極引入方式不同，采用了由爐門處引入電極的前引入方式，此方式與電極后引入方式相比，引入結(jié)構(gòu)更加安全可靠，尤其利于設(shè)備的維護(hù)。通過該設(shè)備在單/多晶硅基底上所生長的減反射膜，在片內(nèi)、片間和批間的均勻性和一致性都達(dá)到了國際同類產(chǎn)品水平。該設(shè)備已成功應(yīng)用于國內(nèi)多家電池生產(chǎn)線，并出口至新加坡等國家。

4、青島賽瑞達(dá)：賽瑞達(dá)PECVD設(shè)備為管式，采用進(jìn)口壓力控制、閉環(huán)系統(tǒng)及進(jìn)口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門。有毒害尾氣定向收集、集中處理排放，裝片數(shù)量為250片/每爐管，采用軟著陸懸臂式推拉舟送取片方式。

5、上海航天機(jī)電：上海航天機(jī)電與上海太陽能科技有限公司于2008年成功研制了太陽能光伏用平板型PECVD，該設(shè)備通過了上海市科技攻關(guān)計(jì)劃《半導(dǎo)體器件制造工藝關(guān)鍵裝備技術(shù)的研究》項(xiàng)目驗(yàn)收，樣機(jī)在上海太陽能科技有限公司生產(chǎn)線上實(shí)際運(yùn)作半年以上并取得良好效果。上海航天汽車機(jī)電公司此次研發(fā)的光伏生產(chǎn)線核心裝備PECVD設(shè)備涵蓋了PECVD薄膜工藝技術(shù)、光機(jī)電一體化技術(shù)、真空技術(shù)、微波技術(shù)、電子與信息技術(shù)（包括自動(dòng)化技術(shù)、計(jì)算機(jī)軟件技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)通信技術(shù)等）、節(jié)能技術(shù)等多項(xiàng)技術(shù)領(lǐng)域，整個(gè)研發(fā)過程耗時(shí)3年多，在研發(fā)過程中采用了多項(xiàng)國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)的技術(shù)，各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到同類設(shè)備的國際先進(jìn)水平，部分性能優(yōu)于進(jìn)口設(shè)備，可以完全取代同類進(jìn)口設(shè)備，打破了國

外設(shè)備的技術(shù)壟斷，使整個(gè)裝備的國產(chǎn)化率超過80％。

絲網(wǎng)印刷機(jī)：絲網(wǎng)印刷機(jī)手動(dòng)全部國產(chǎn)，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)于去年已推向市場

太陽電池經(jīng)過制絨、擴(kuò)散及PECVD等工序后，已經(jīng)制成PN結(jié)，可以在光照下產(chǎn)生電流，為了將產(chǎn)生的電流導(dǎo)出，需要在電池表面上制作正、負(fù)兩個(gè)電極。制造電極的方法很多，而絲網(wǎng)印刷是目前制作太陽電池電極最普遍的一種生產(chǎn)工藝。絲網(wǎng)印刷是采用壓印的方式將預(yù)定的圖形印刷在基板上，該設(shè)備由電池背面銀鋁漿印刷、電池背面鋁漿印刷和電池正面銀漿印刷三部分組成。其工作原理為：利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)孔透過漿料，用刮刀在絲網(wǎng)的漿料部位施加一定壓力，同時(shí)朝絲網(wǎng)另一端移動(dòng)。油墨在移動(dòng)中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。由于漿料的粘性作用使印跡固著在一定范圍內(nèi)，印刷中刮板始終與絲網(wǎng)印版和基片呈線性接觸，接觸線隨刮刀移動(dòng)而移動(dòng)，從而完成印刷行程。目前在國內(nèi)，手動(dòng)及半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并成功應(yīng)用于電池生產(chǎn)線，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已有研發(fā)，由深圳市網(wǎng)印巨星推出的全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)，正在電池生產(chǎn)線中進(jìn)行測試，各項(xiàng)數(shù)據(jù)已達(dá)到國際先進(jìn)水平。而擁有更高定位精度的新一代半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已經(jīng)在主流廠商試用。

國內(nèi)絲網(wǎng)印刷機(jī)生產(chǎn)企業(yè)推薦

1、深圳網(wǎng)印巨星：成立于2000年的深圳網(wǎng)印巨星機(jī)電設(shè)備有限公司，是國內(nèi)致力于高精度、自動(dòng)化、智能化絲網(wǎng)印刷機(jī)械設(shè)計(jì)制造的專業(yè)企業(yè)。2006年該公司的主要產(chǎn)品絲網(wǎng)印刷機(jī)通過了歐盟的CE認(rèn)證，是國家標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)絲網(wǎng)印刷機(jī)械國家標(biāo)準(zhǔn)主要制定單位。目前該公司在太陽能電池制造領(lǐng)域，涉及半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)及全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)兩大類產(chǎn)品。

2、中電四十五所：中國電子科技集團(tuán)第四十五研究所在絲網(wǎng)印刷領(lǐng)域涉及三種產(chǎn)品，分別為半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)，該機(jī)為手動(dòng)上下料，自動(dòng)印刷，適合中小型太陽能生產(chǎn)線中硅片的印刷。另外還有精密網(wǎng)版印刷機(jī)、視覺對(duì)位網(wǎng)版印刷機(jī)。三個(gè)型號(hào)的絲網(wǎng)印刷機(jī)已裝備了國內(nèi)40多條太陽能電池生產(chǎn)線和試驗(yàn)線。四十五所在成功研制半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)及全自動(dòng)LTCC絲網(wǎng)印刷機(jī)的技術(shù)基礎(chǔ)上針對(duì)太陽能電池印刷的技術(shù)特點(diǎn)，進(jìn)行大量的調(diào)查研究，重點(diǎn)解決自動(dòng)圖像對(duì)準(zhǔn)技術(shù)、柔性傳輸技術(shù)、大直徑四工位高精度高速旋轉(zhuǎn)任務(wù)臺(tái)設(shè)計(jì)制造技術(shù)、自動(dòng)烘干控制技術(shù)、基片測試分選技術(shù)、智能化控制技術(shù)、軟件控制技術(shù)等7項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，成功研制出用于太陽能電池基片的背鋁、背銀和正銀印刷、烘干、燒結(jié)、測試、分選的全自動(dòng)生產(chǎn)線。該生產(chǎn)線主要包括1臺(tái)自動(dòng)上料機(jī)、3臺(tái)自動(dòng)視覺對(duì)準(zhǔn)絲網(wǎng)印刷機(jī)、2臺(tái)烘干爐、1臺(tái)燒結(jié)爐、1臺(tái)測試分選機(jī)等8個(gè)部分，各部分協(xié)調(diào)任務(wù)，不需要人為干預(yù)。

3、昆山合信：昆山合信太陽能設(shè)備有限公司是一家以研發(fā)、生產(chǎn)、銷售太陽能電池絲網(wǎng)印刷機(jī)、厚膜印刷機(jī)等設(shè)備的企業(yè)。該公司目前有半自動(dòng)及全自動(dòng)兩種類型的絲網(wǎng)印刷機(jī)，基本以代理銷售為主。

4、萊茵茜斯田（天津）：該公司跟據(jù)市場所需，研發(fā)出了全自動(dòng)太陽能電池專用絲網(wǎng)印刷機(jī)，該產(chǎn)品引用先進(jìn)的韓國技術(shù)研發(fā)而成，主體構(gòu)造有影像系統(tǒng)全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)及近紅外線烘干設(shè)備組成，不僅能印刷太陽能電池核心部位的電極，還可進(jìn)行高品質(zhì)印刷，且印刷后干燥速度快（從印刷到干燥最多用3、5秒），可大大提升生產(chǎn)能力。同時(shí)，此款全自動(dòng)太陽能電池專用絲網(wǎng)印刷機(jī)還可在印刷全過程中監(jiān)控承印物的破壞與否，而采用自動(dòng)刮膠調(diào)節(jié)壓力感應(yīng)器裝置，能維持均勻的壓力，并可維持均一的印刷厚度，新概念的校位方式保證了低不良率，在價(jià)格上比歐美進(jìn)口設(shè)備要更為低廉。

高溫?zé)Y(jié)爐國內(nèi)生產(chǎn)研發(fā)技術(shù)明顯提高，開始批量在大生產(chǎn)線使用，但進(jìn)口仍占多數(shù)

經(jīng)過絲網(wǎng)印刷后的硅片，不能直接使用，需經(jīng)燒結(jié)爐快速燒結(jié)，將有機(jī)樹脂粘合劑燃燒掉，剩下幾乎純粹的、由于玻璃質(zhì)作用而密合在硅片上的銀電極。當(dāng)銀電極和晶體硅在溫度達(dá)到共晶溫度時(shí)，晶體硅原子以一定的比例融入到熔融的銀電極材料中去，從而形成上下電極的歐姆接觸，提高電池片的'開路電壓和填充因子兩個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，使其具有電阻特性，以提高電池片的轉(zhuǎn)換效率。燒結(jié)爐分為預(yù)燒結(jié)、燒結(jié)、降溫冷卻三個(gè)階段。預(yù)燒結(jié)階段目的是使?jié){料中的高分子粘合劑分解、燃燒掉，

此階段溫度慢慢上升；燒結(jié)階段中燒結(jié)體內(nèi)完成各種物理化學(xué)反應(yīng)，形成電阻膜結(jié)構(gòu)，使其真正具有電阻特性，該階段溫度達(dá)到峰值；降溫冷卻階段，玻璃冷卻硬化并凝固，使電阻膜結(jié)構(gòu)固定地粘附于基片上。目前在國內(nèi)高溫?zé)Y(jié)爐產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)上取得了突破，主要體現(xiàn)在以下幾方面：尖峰燒結(jié)溫度曲線的形成與控制；均勻熱場形成技術(shù)；快速冷卻技術(shù)以及充分的排膠設(shè)計(jì)。

第六篇：社會(huì)調(diào)查報(bào)告500字

一、基本情況

（一）黨建（“三送”）情況

村“兩委”班子團(tuán)結(jié)，村部建設(shè)基本完善，每年發(fā)展1—3名黨員，農(nóng)村優(yōu)秀青年吸納為入黨積極分子、后備干部培養(yǎng)。三年任職目標(biāo)：1、正常開展日常工作，三年內(nèi)發(fā)展黨員9名以上，每年3—5名，吸收入黨積極分子4—6名，完成村級(jí)場所各項(xiàng)配套設(shè)施和制度建設(shè)，抓好農(nóng)村黨員現(xiàn)代遠(yuǎn)程教育終端點(diǎn)建設(shè)。2、按照黨建示范村要求抓好各項(xiàng)黨建工作的落實(shí)。3、三年內(nèi)發(fā)展樹苗撫養(yǎng)700畝以上，煙葉300畝以上，造林1萬畝;紅薯種植新增100畝，建立好村杉苗專業(yè)合作社1個(gè)以上，不斷加大生豬和魚業(yè)養(yǎng)殖力度，拓寬產(chǎn)業(yè)渠道，實(shí)現(xiàn)村集體經(jīng)濟(jì)5萬元以上。4、三年內(nèi)完成石背湖、羅架、老耕坑、社官前5個(gè)村民小組 3。5公里的水圳建設(shè)，修好至百石和至羅豐頭兩條水泥路的建設(shè)，年內(nèi)抓好上江社區(qū)和社區(qū)建設(shè)點(diǎn)建設(shè)，改造好電力設(shè)施，徹底解決好部分村小組電壓問題。5、維護(hù)社會(huì)穩(wěn)定，抓好計(jì)劃生育、農(nóng)村新型合作醫(yī)療、農(nóng)村低保、留守孩和貧困孤寡老人幫扶關(guān)愛工作，加大對(duì)教育事業(yè)投入，營造尊師重教氛圍。

（二）經(jīng)濟(jì)發(fā)展情況

我村主要產(chǎn)業(yè)發(fā)展是煙葉、糧食、杉苗、臍橙，村集體收入靠上級(jí)轉(zhuǎn)移支付。

（三）新農(nóng)村建設(shè)進(jìn)展情況

在上級(jí)政府支持下，現(xiàn)有兩個(gè)點(diǎn)分布在村上江社區(qū)和社區(qū)，基礎(chǔ)設(shè)施完善，水電基本到位，，飲水情況基本用上井水和山泉水，無有線電視。

（四）社會(huì)治安情況

我村社會(huì)治安存在問題是林權(quán)糾紛多，其他相關(guān)情況比較穩(wěn)定。

二、村經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展中存在的困難和問題

多年來村級(jí)組織無經(jīng)濟(jì)來源，僅靠上級(jí)政府轉(zhuǎn)移支付維持運(yùn)轉(zhuǎn);原村集體山林在1966年已劃國有林，至今沒有收入。

三、推進(jìn)村建設(shè)和發(fā)展的對(duì)策與建議

存在的主要困難是村集體經(jīng)濟(jì)無來源，在支委提議和村委商議后，提出村要轉(zhuǎn)化，多種植煙葉、杉苗、臍橙和農(nóng)產(chǎn)品等，做到一村一品要求來提升村發(fā)展。同時(shí)根據(jù)上級(jí)政策和要求調(diào)整產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，帶動(dòng)農(nóng)戶做好各種產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，發(fā)動(dòng)群眾成立合作社，或許能在政策上提高農(nóng)戶的生活水平，使全村治安穩(wěn)定，社會(huì)和諧。