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第一篇：市場調(diào)查報告

調(diào)查地點：北京、上海、廣州和成都

產(chǎn)品情況：六個系列共36種小家電產(chǎn)品，其中廚房系列共計15種產(chǎn)品，居室系列共計11種產(chǎn)品，此外還有浴室系列、水加工系列、美容系列和小視聽系列等。

新型小家電尚未普及

在廚房系列產(chǎn)品中，傳統(tǒng)小家電在消費者的家庭中仍占據(jù)主導地位，其中電飯煲的家庭擁有率為91%，居于首位。其次為煤氣灶（75%）。對于抽油煙機和微波爐這些在國內(nèi)出現(xiàn)時間并不算短的產(chǎn)品來說，也已經(jīng)有半數(shù)左右的家庭擁有。而諸如攪拌機/榨汁機、消毒碗柜、豆?jié){機、電子壓力鍋、電子咖啡壺、多士/面包機、電磁爐和洗碗機等新型小家電產(chǎn)品的家庭擁有率還比較低（見圖一）。

在居室系列產(chǎn)品中，電風扇的家庭擁有率最高，為95%。其次為電熨斗（79%）。有不到兩成的消費者擁有吸塵器、電暖氣、空調(diào)扇和暖風機等產(chǎn)品。而對于一些在國內(nèi)起步較晚，目前尚處于發(fā)展階段的產(chǎn)品（如：空氣凈化器、加濕機和氧吧等），就更是僅為極少數(shù)的消費者所擁有。

值得注意的是，從我們對消費者的收入分析中可以看出，擁有新型小家電產(chǎn)品的消費者的家庭收入普遍高于本次調(diào)查對象的平均水平?？磥磉@些產(chǎn)品目前似乎還在作為一種生活品位和生活時尚的象征，尚未成為真正意義上的大眾消費品。

近期前景不容樂觀？

從我們對消費者在半年內(nèi)對各種小家電的購買意向的調(diào)查情況來看，消費者近期的意向購買率較低。其中6%的消費者意向購買微波爐，4%的消費品意向購買飲水機，3%的消費者意向購買DVD ，另外還有極少數(shù)的消費者意向購買其它類型的小家電產(chǎn)品（見圖三）。那么導致這種情況出現(xiàn)的原因是什么呢？是現(xiàn)階段消費者的需求已經(jīng)趨于飽和？是小家電對消費者缺乏足夠的吸引力？還是小家電的價格令普通消費者難以接受或由于某些其它的因素？

由于傳統(tǒng)小家電多數(shù)屬于家庭生活必需品，所以目前的家庭擁有率較高，從本次調(diào)查的被訪者購買小家電的時間來分析，我們發(fā)現(xiàn)一個有趣的現(xiàn)象，多數(shù)傳統(tǒng)小家電從92年開始購買率呈逐年增長趨勢，在97-98年達到高峰，從99年開始又逐漸回落。而據(jù)我們調(diào)查顯示，傳統(tǒng)小家電的使用周期平均為5-6年，這說明近期內(nèi)多數(shù)消費者擁有的傳統(tǒng)小家電尚未到更新?lián)Q代的高峰期，這也許是近期內(nèi)消費者對傳統(tǒng)小家電需求不高的一個重要原因。另外，有些小家電產(chǎn)品（如電風扇、空調(diào)扇等）的需求明顯受到季節(jié)性的影響。有必要說明的是, 本次調(diào)查的對象是城市現(xiàn)有家庭, 那么對于每年新組建的家庭和農(nóng)村、鄉(xiāng)鎮(zhèn)市場，相信傳統(tǒng)小家電具有不可忽視的發(fā)展?jié)摿Α?/p>

而對于新型小家電來說，目前的家庭擁有率還很低，應該說具有較大的發(fā)展空間。那么，消費者是否愿意購買的其中一個很重要的因素就是新型小家電在他們家庭生活中的必要性有多大。根據(jù)我們對消費者關(guān)于小家電的態(tài)度的調(diào)查，有65%的消費者認為“小家電是一種時尚的代表”，而只有35%的消費者表示“有了新品種的小家電，我都會買來試試”?？磥恚滦托〖译娫诙鄶?shù)消費者心目中還沒有樹立起“實用”甚至“必要”的形象。需要通過一定的市場拉力來引導更多的消費者對新型小家電給予更多的關(guān)注。

“安全”“耐用”“功能齊全”―消費者選擇小家電的三要素

在本次調(diào)查的四個城市中, 有64%的消費者認為影響他們選擇小家電產(chǎn)品的因素為“產(chǎn)品的安全性”, 其次為 “產(chǎn)品的耐用性”和 “功能齊全”(分別為42%和30%)，此外還包括 “產(chǎn)品性能”、“品牌有名氣”、“產(chǎn)品價格”等方面。

消費者表示在購買小家電時，通常會傾向于選擇他們信任的品牌和有實力的廠家生產(chǎn)的品牌。而“洋品牌”已經(jīng)不再是獲得消費者信任的唯一標準，“外國制造”也并非實力和質(zhì)量的根本保障，不少消費者認為目前國產(chǎn)品牌的技術(shù)已經(jīng)可以值得信賴。從消費者對廣告的態(tài)度來看，廣告多并不等于產(chǎn)品）。由此可見，目前消費者對廣告的信任度仍然不高，單純靠廣告來建立消費者對小家電產(chǎn)品的信賴是遠遠不夠的。

“小家電―電子商務(wù)”前途難料

目前消費者大多采用傳統(tǒng)的途徑來購買小家電，在四城市購買過小家電的消費者中，百貨公司是他們最主要的購買地點，其次為電器商場。選擇在超市/貨倉商場和品牌專賣店購買小家電的消費者相對較少。而采用或準備采用在近年來最前衛(wèi)時尚的購物方式―電子商務(wù)來購買小家電的消費者則少之又少。分析其原因概括為以下幾個方面：

其一，目前消費者對互聯(lián)網(wǎng)的使用率還較低。在四城市中，只有16%的消費者曾經(jīng)有過上網(wǎng)的經(jīng)歷。

其二，消費者缺乏在網(wǎng)上購物的習慣。在所有曾經(jīng)上網(wǎng)的消費者中，只有7%的人曾在網(wǎng)上購物。

其三，現(xiàn)階段在網(wǎng)上購買小家電還存在著明顯的缺點。有上網(wǎng)習慣的消費者認為，“不能預先看到實物”、“不能判斷其質(zhì)量、性能”、“怕被欺騙”和“質(zhì)量沒有保證”是他們對網(wǎng)上購買小家電的主要擔心，此外還有消費者認為網(wǎng)上購買小家電還存在“不可以試”“沒辦法挑選”“付款不方便”“送貨不及時”和“價格貴”等缺點。

第二篇：市場調(diào)查報告

1.調(diào)查目的

本次關(guān)于保險的調(diào)查，主要目的是去了解目前社會上影響人們購買保險的因素主要有哪些，另外，保險公司可以采取哪些措施來擴大產(chǎn)品的銷售和影響。

2.調(diào)查對象

當今社會上的保險消費者。

3.調(diào)查方式

本次調(diào)查所采取的方式以訪談法為主，資料法為輔，將訪談結(jié)果以及查閱到的資料相結(jié)合，得到本次調(diào)查結(jié)果。

4.調(diào)查時間

20xx年11月5日――20xx年11月13日

5.調(diào)查內(nèi)容

主要通過查閱資料，了解了下當今社會上各類保險的發(fā)展，并通過訪談，調(diào)查了人們對待保險的態(tài)度，調(diào)查了影響人們購買保險產(chǎn)品的因素，還調(diào)查了，就作為消費者而言，保險公司應如何來擴大保險產(chǎn)品的銷售和影響。

6.調(diào)查結(jié)果

當今社會上保險的發(fā)展現(xiàn)狀：改革開放30年以來，中國保險業(yè)務(wù)快速增長，服務(wù)領(lǐng)域不斷拓寬，市場體系日益完善，法律法規(guī)逐步健全，監(jiān)管水平不斷提高，風險得到有效防范，整體實力明顯增強，在促進改革、保障經(jīng)濟、穩(wěn)定社會、造福人民等方面發(fā)揮了積極作用。

目前社會上影響人們購買保險的因素：

（1） 自然災害頻發(fā)，損失大。

（2） 這會上存在的不安全因素很多，常常會在不同的方面嚴重影響到人們的生命財產(chǎn)安全。

（3） 各類疾病疫病的發(fā)生。

（4） 現(xiàn)在人口老齡化加重，人們想要更好的保障自己的生活。

（5） 人們的生活水平提高，投資觀念發(fā)生了很大的變化，消費結(jié)構(gòu)發(fā)生了變化。

（6） 目前社會上保險種類多，人們可以有更多的選擇來保障自身利益。

（7） 另外，影響人們購買保險的消極因素也有。現(xiàn)在，一些保險公司在外

名聲不好，在被保險人出事后，極力推卸自己的責任，出現(xiàn)了很多保險公司與被保險人之間的矛盾。

另外，現(xiàn)在購買保險有很多好處，除了可以保障人們的人身財產(chǎn)安全之外，還是一種儲蓄工具和投資工具，有時也會成為應急準備金，而且還會提高企業(yè)或者個人的信用。

對于保險公司如何來擴大產(chǎn)品的銷售和影響，現(xiàn)在保險市場的競爭異常激烈，產(chǎn)品同質(zhì)化高，各家保險公司為了擴大銷售量都絞盡腦汁，想出各種高招，比如買保險送加油卡，送禮品等，這種促銷方式很容易被復制，最終造成惡性競爭，而保單持有人并沒有從中得到實質(zhì)性的好處。如果能在保險產(chǎn)品中植入一些增值服務(wù)，投保人會因此獲得更好的保險服務(wù)，得到更多的利益，這個保險產(chǎn)品也會因此在市場上更具有競爭力。另外，保險公司應該在平時的保險案件中，樹立好公司的形象，不能留給消費者不良的信譽影響，還要做好公司的售后服務(wù)，使消費者盡量減少后顧之憂。保險公司只有真正做到很好的保障被保險人的權(quán)益，才能獲得良好的信譽，在同行業(yè)中成為佼佼者，從而得到更多的客戶來源，擴大公司保險的銷售和影響。

7.調(diào)查體會

對于本次的調(diào)查結(jié)果，可以看出，現(xiàn)今社會，保險業(yè)的發(fā)展，具有很好的社會背景，以及良好的政策背景，保險業(yè)的發(fā)展前景相當廣闊。另外，保險是一種互惠互利的商業(yè)形式，人們可以通過購買保險來保障自己的一些利益，或者減少損失，甚至去獲得投資收益。但是在這個保險業(yè)發(fā)達，各種保險業(yè)務(wù)充斥的社會，在選擇購買保險的種類，保險公司，并且決定購買保險時，一定要對保險合同盡量多地去了解，盡可能的避免在將來與保險公司發(fā)生財務(wù)糾紛。而且，面對眾多的影響人們購買保險的因素，要做到充分考慮。另外，保險人和被保險人，都應該去遵守最大誠信原則，保障雙方的權(quán)益。對于保險公司，在競爭如此激烈的行業(yè)，如果想要擴大自己的業(yè)務(wù)，得到更好的發(fā)展，一定要注意自己的影響，有了良好的社會聲譽，才會有良好的效益。

第三篇：產(chǎn)品調(diào)研報告

近年來隨著高校大學生人數(shù)的迅速增加，高校市場成為許多商家的必爭之地，而隨著人民生活水平的提高，現(xiàn)今的大學生們幾乎是人手一部手機。為了盡快占領(lǐng)這一市場，通信運營商們可謂是使盡了渾身氣力。其中，中國移動和中國聯(lián)通在之間的競爭顯得尤為激烈，他們不僅在技術(shù)方面、產(chǎn)品業(yè)務(wù)方面、廣告宣傳方面針鋒相對，而且在目標市場也是你爭我奪，互不示弱。兩家公司紛紛推出新產(chǎn)品，新理念來占領(lǐng)學生市場。中國聯(lián)通推出的3g品牌“wo”在校園市場上攻城略地，搶占了移動相當大的市場。即在滿足消費者需求的前提下，實現(xiàn)聯(lián)通g3校園市場占有率的最大化，使中國聯(lián)通成為3g時代校園市場領(lǐng)先者。

作為行政管理專業(yè)的一名學生，我有幸參加了聯(lián)通公司舉辦的暑期實踐調(diào)研活動，通過實踐調(diào)研，了解了聯(lián)通企業(yè)日常工作開展情況和以服務(wù)產(chǎn)品為特點的諸多產(chǎn)品的特質(zhì)，對于更好的實行行政管理積累了非常好的經(jīng)驗。下面將實踐調(diào)研活動開展情況報告如下：

一、實踐調(diào)研目的

社會實踐活動的根本目的在于更好的了解和認識目標企業(yè)生產(chǎn)全貌，以聯(lián)通企業(yè)為例，作為通信行業(yè)的領(lǐng)先者，聯(lián)通行業(yè)在同行業(yè)發(fā)展中始終處于領(lǐng)頭雁的地位。其以優(yōu)質(zhì)的服務(wù)產(chǎn)品為主打品牌，經(jīng)過多年深耕，已經(jīng)積累了大量的消費者注意力。但是對于服務(wù)產(chǎn)品的特性，即便是專業(yè)學生也未必能夠完全的解釋。服務(wù)產(chǎn)品是與有形產(chǎn)品對應的一種產(chǎn)品存在形式，從學理分析看，服務(wù)產(chǎn)品是指“勞動者運用一定的設(shè)備和工具為消費者提供服務(wù)產(chǎn)生的結(jié)果”。服務(wù)產(chǎn)品也是具有使用價值的，其生產(chǎn)出來主要是為了滿足消費者的通訊需求。此次實踐調(diào)研目的便是基于這種特點的分析，引導實踐者更好的理解服務(wù)產(chǎn)品的特征。

二、實踐步驟和方法

隨著網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的快速發(fā)展，其余傳統(tǒng)的電信業(yè)務(wù)也實現(xiàn)了有機的融合，相比于網(wǎng)絡(luò)技術(shù)而言，運營商存在最大的短板便是服務(wù)，隨著這種理念對于互聯(lián)網(wǎng)服務(wù)也有很大的必要性，但是相對于后者，好體驗是通過軟件持續(xù)升級實現(xiàn)的，而運營出來的互聯(lián)網(wǎng)業(yè)務(wù)也是服務(wù)的一個種類?；谶@種認識，我們此次實踐活動采取了實地參觀、實操訓練以及分析法，將收集到的大量一手資料進行歸納和整理，從中提煉和總結(jié)對我們研究具有重要意義的精華，并按照科學的分析方法進行分析和研究，為后續(xù)的論文撰寫奠定良好的基礎(chǔ)。

三、實踐調(diào)研內(nèi)容

服務(wù)產(chǎn)品營銷概念：服務(wù)營銷策略，是“基于目前市場的發(fā)展提出的一種具體的營銷策略觀念，它包含了兩個方面的內(nèi)容：其一，就企業(yè)性質(zhì)來說，服務(wù)本身就是其產(chǎn)品；其二，作為一種營銷策略方式，服務(wù)就是企業(yè)的服務(wù)營銷策略手段，始終貫穿于其營銷策略的全過程。服務(wù)營銷策略已進入全面化、多樣化的時代，要想在市場競爭中立于不敗之地，企業(yè)就要整體努力，靈活利用服務(wù)營銷策

略各種營銷策略來創(chuàng)造競爭優(yōu)勢，這樣才能在競爭中贏得勝利”。

服務(wù)產(chǎn)品營銷特征：從產(chǎn)品的性質(zhì)來看，區(qū)別于常見的有形物體，服務(wù)產(chǎn)品由于服務(wù)是無形的，這給顧客判斷帶來了很大的困擾。即客戶很難通過一般的判斷方法判斷服務(wù)產(chǎn)品服務(wù)質(zhì)量的好壞和效果的強弱，這種區(qū)別于常見的判斷方法，不像有形產(chǎn)品那樣可以通過五官的觸碰可以得出和塑造，而是將更多地根據(jù)服務(wù)設(shè)施和環(huán)境等有形物品來進行判斷，如服務(wù)場所溫馨、舒適，服務(wù)人員專業(yè)、禮貌等。

服務(wù)營銷的本質(zhì)在于更準確的平衡需求的方法：服務(wù)是一個行動或性能，而不是客戶可以保留一塊有形商品，服務(wù)當需求超出容量時，客戶會感到失望離開，因為沒有庫存提供支持，它不容易可以運送到更高層次的需求的地方，至少在短期內(nèi)，當需求大于供給時，增加服務(wù)能力（如設(shè)備、設(shè)施和訓練有素的人員）是非常困難的。

顧客直接參與服務(wù)的生產(chǎn)過程：傳統(tǒng)的生產(chǎn)完全排除客戶管理在生產(chǎn)過程中的作用，公司的員工是管理對象，而不是客戶。這種參與是要求企業(yè)改變服務(wù)生產(chǎn)過程和服務(wù)營銷策略方法來滿足客戶的不同需求。正是因為人們成為該產(chǎn)品的特點，我們需要堅持與客戶的互動營銷策略原則，及時響應客戶的需求。

四、心得體會

經(jīng)過此次實踐調(diào)研活動，我終于認識到學校與社會相差之大，學校只是我們步入社會的溫床，而實踐才能真正體會到社會競爭力的大小。不做不知道，就連一個小小的業(yè)務(wù)員，也需要百般的磨練才能將工作真正做得水到渠成。工作對每一個人的要求都是很高的，看似平時簡單的動作或言語，也許正是因為這樣，你可能得到或者失去一個客戶對你的信任和滿意。細節(jié)決定成敗，正是這一論斷的鮮明佐證。精工此次實踐調(diào)研活動，我主要有以下心得體會：

首先，禮儀是開展電信服務(wù)業(yè)務(wù)的前提和基礎(chǔ)。微笑服務(wù)是我們大力提倡的，聯(lián)通服務(wù)人員在與客戶交談的同時必須保持微笑，不管客戶對你提出什么刁難的問題，始終得認清自己的立場，堅持自己的原則，并很有耐心的為他們解釋一些不懂的地方。即便最終沒有完全成功，最起碼客戶對你的服務(wù)態(tài)度會有很高的評價，這樣也是宣傳自己、宣傳公司的一種好方法。

其次，要培養(yǎng)較強的邏輯思維能力和語言組織能力。

每一次面對顧客，對服務(wù)者的口才也是一種很好的鍛煉。并不是你能說就行，必須得會說，要懂得因人而異。不是每個人都喜歡話多的人，所以要抓住他們的弱點和優(yōu)點。及時方便的推廣并擴大自己的業(yè)務(wù)，并建立良好的合作（人緣）關(guān)系。

再次，培養(yǎng)敏銳地觀察能力是取得成功的必須。

每一個客戶都有其弱點和優(yōu)點，要善于抓住這一點，利用他們這方面的心理取得客戶的滿意。但需要強調(diào)的是要本著誠信的原則，并做到不欺瞞顧客，不夸大事實，做到真實、真誠、真切地為客戶服務(wù)。同時，還要善于總結(jié)，前期大量接觸消費者和用戶，都是為了以后更好接觸用戶打基礎(chǔ)，服務(wù)人員言談舉止、道德修養(yǎng)的提升，都會對工作的開展起到非常重要的促進作用。

第四篇：產(chǎn)品市場調(diào)查報告范文

（一）國際市場需求尚未明顯恢復當期歐美經(jīng)濟復蘇前景變數(shù)較大，國際市場不利消息頻頻發(fā)出，不論是實際需求還是信心都較前段時間有所下降。

而且隨著歐美市場補庫存周期逐漸結(jié)束，在前景不明的情況下采購商有可能進入下一輪消化庫存階段，采購需求大幅下降。在廣交會期間，我會調(diào)研顯示多數(shù)企業(yè)訂單增長20%左右，但進入6、7月份以來，部分企業(yè)訂單數(shù)量下降明顯，采購商觀望態(tài)度增強。

（二）原材料價格大幅上漲、人民幣匯率變動對機電企業(yè)影響很大。

上半年銅、玻纖布價格上漲拉動印刷電路價格持續(xù)上漲并帶動電子信息產(chǎn)品的多數(shù)部件價格上漲。液晶屏、鋼材等價格上漲造成家電生產(chǎn)成本上揚。從20**年下半年到20**年上半年，人民幣一直處于單邊升值行情中，升值幅度超過了5%。成套工程項目一般建設(shè)周期較長，人民幣升值給境外在執(zhí)行項目造成了較大的匯損。同時，人民幣升值還導致我企業(yè)新接洽海外項目的報價水平較以前有所提高，與歐美競爭對手的價格差距正不斷縮小。

（三）勞動力成本上升對機電出口企業(yè)影響不容小視。

（四）融資問題對企業(yè)影響巨大。

去年底以來，央行為控制通脹連續(xù)加息，進一步加大了企業(yè)的融資成本，中小出口企業(yè)的融資難問題更加突出。銀行貸款難推動了江浙的錢莊快速發(fā)展，但其利息很高，中小企業(yè)壓力巨大。融資成本上升對大型成套企業(yè)影響尤其明顯，國內(nèi)銀行的美元和人民幣貸款利率比金融危機時已大幅上升，企業(yè)融資成本居高不下。有些項目，承擔出口信貸的信保公司盡管承擔了風險，但由于保費偏高，最終業(yè)主不愿意承擔。

（五）電力供需矛盾突出。

持續(xù)了較長時間的電力供應緊張問題未得到緩解，部分企業(yè)因電力緊張無法開工、難以完成訂單的現(xiàn)象也十分突出；電價上漲同時給企業(yè)出口帶來了較大成本壓力。

（六）物流、倉儲逐漸成為影響企業(yè)成本的重要因素。

如對我汽車行業(yè)來說，物流成本的影響尤其明顯，汽車物流成本占整車成本的10%左右，而國際先進水平是4%-5%，不少企業(yè)也反映近期倉儲成本在上升，此外，日本強震造成部分精密零部件價格上漲也加大了汽車、電子企業(yè)的成本壓力。

（七）我機電產(chǎn)品遭遇的國際貿(mào)易摩擦仍處于多發(fā)階段。

由于各國經(jīng)濟形勢并未根本好轉(zhuǎn)，國際金融態(tài)勢也不容樂觀，國際貿(mào)易領(lǐng)域的競爭仍將保持較激烈水平。為保護本國相關(guān)產(chǎn)業(yè)利益，各國很有可能在下半年對我發(fā)起更多貿(mào)易救濟調(diào)查，20**年仍將是我機電產(chǎn)品遭受貿(mào)易救濟調(diào)查的重災之年。

第五篇：產(chǎn)品調(diào)研報告

國產(chǎn)光伏電池制造設(shè)備生存現(xiàn)狀

根據(jù)IMSResearch的研究，20xx年太陽能光伏制造設(shè)備的市場可能減半。由于太陽能光伏制造設(shè)備新需求顯著下跌，市場存在的現(xiàn)有設(shè)備的換代和升級需求有限，預計20xx年市場下跌超過55%。

近幾年來，太陽能光伏產(chǎn)品制造商紛紛投入巨資購買新光伏設(shè)備擴大產(chǎn)能，以此來擴大市場份額，同時讓自己成為可靠的大批量供貨商。雖然，這為最近太陽能光伏電池制造設(shè)備市場的繁榮起到了推波助瀾的作用，但是，這也導致了目前光伏設(shè)備制造商的產(chǎn)能過剩。

高級研究分析師TimDawson說：“根據(jù)IMSRsearch的估計，光伏電池制造設(shè)備市場收入在2011年達到創(chuàng)紀錄的128億美元，20xx年將會僅僅超過57億美元。大規(guī)模產(chǎn)能過剩，再加上需求下降，生產(chǎn)商在可能的情況下，要么推遲要么取消了光伏制造設(shè)備的訂單，至少短期內(nèi)事實情況就是這樣。

從長遠來看，2013年光伏行業(yè)恢復增長是必然的，但是并不能預測將會出現(xiàn)強有力的V型復蘇。光伏制造設(shè)備市場將會穩(wěn)步恢復。畢竟，光伏生產(chǎn)商依然會希望再次在新設(shè)備上投資以保持競爭力，改善生產(chǎn)流程，提供電池效率，最終減少每瓦成本。

目前，我國光伏設(shè)備企業(yè)從硅材料生產(chǎn)、硅片加工、光伏電池片、光伏組件的生產(chǎn)以及相應的純水制備、環(huán)保處理、凈化工程的建設(shè)、以及與光伏產(chǎn)業(yè)鏈相應的檢測設(shè)備、模擬器等，已經(jīng)具備成套供應能力，部分產(chǎn)品如擴散爐、等離子刻蝕機、單晶爐、多晶鑄錠爐、層壓機、檢測設(shè)備等開始出口。值得一提的是，硅材料加工設(shè)備中單晶爐以優(yōu)良的性價比占據(jù)了國內(nèi)市場的絕對統(tǒng)治地位并批量出口亞洲，多線切割機已取得突破，多晶硅鑄錠爐已經(jīng)開始大量在國內(nèi)企業(yè)中使用。

據(jù)中電四十八所提供數(shù)據(jù)顯示，在10個太陽能光伏電池制造生產(chǎn)線設(shè)備中，國產(chǎn)設(shè)備已能提供其中的8種，其中有6種（擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/制絨機、去磷硅玻璃（PSG）設(shè)備、低溫烘干爐）已在國內(nèi)生產(chǎn)線上占據(jù)主導地位，2種（管式PECVD、快速燒結(jié)爐）與進口光伏設(shè)備并存但份額正逐步增大。但是，全自動絲網(wǎng)印刷機、自動分揀機、平板式PECVD仍然依賴進口。目前國內(nèi)光伏電池注流建線方案為國產(chǎn)和進口設(shè)備混搭，基本以國產(chǎn)為主。設(shè)備投資方面，一條25MW的標準生產(chǎn)線需3400―6000萬元。

我國光伏電池制造設(shè)備的技術(shù)水平

首先，在濕法腐蝕、清洗設(shè)備、擴散方面，主要是自動制絨設(shè)備、自動清洗設(shè)備、全封閉擴散爐、刻蝕機、去PSG設(shè)備等國內(nèi)已經(jīng)能夠制造，已經(jīng)達到世界先進水平，且性價比優(yōu)勢十分明顯；國產(chǎn)PECVD（管式）的工藝結(jié)果已接近世界先進水平，這是這種設(shè)備的優(yōu)勢。但它的自動化程度（自動裝卸片）不如進口設(shè)備（進口設(shè)備如德國Centrotherm公司產(chǎn)品，售價是國產(chǎn)設(shè)備的三倍左右），平板型PECVD目前國內(nèi)已有企業(yè)生產(chǎn)，有待進一步驗證；第三，國產(chǎn)絲網(wǎng)印刷機（只有手動），與進口自動化產(chǎn)品的差距也是在自動裝卸片（機械手）和自動檢測手段上，全自動絲網(wǎng)印刷機已有企業(yè)生產(chǎn)，工藝有待進一步驗證；第四，高溫燒結(jié)爐技術(shù)提高，開始批量在大線上使用；第五，自動檢測分揀設(shè)備目前國內(nèi)已達到國際中等水平。

然而，盡管國產(chǎn)太陽能光伏設(shè)備在國內(nèi)用戶中已建立起良好的信譽，得到業(yè)界的廣泛認可，越來越多的客戶從價格適中、性能良好、技術(shù)不斷進步的國產(chǎn)設(shè)備中受益。但我們也應該看到，國內(nèi)半導體設(shè)備廠商在整體技術(shù)水平尤其是尖端技術(shù)水平上和國外廠商尚有差距。業(yè)內(nèi)專家指出，國產(chǎn)太陽能光伏設(shè)備的競爭力不完全在于設(shè)備的性能指標，而在于設(shè)備的性能價格比。成本是太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的終極目標，業(yè)內(nèi)有句話，光伏設(shè)備沒有最好的，只有最合適的。據(jù)了解，建設(shè)一條太陽能電池生產(chǎn)線，70%以上的投資是用來購買設(shè)備，而國產(chǎn)設(shè)備的價格平均只有國外產(chǎn)品的1/3―1/2，采用國產(chǎn)設(shè)備輔以少量進口設(shè)備，可以將建線成本降低一半以上。

清洗/制絨設(shè)備：單晶硅光伏電池槽式基本國產(chǎn)，多晶硅電池連續(xù)式進口居多

當前環(huán)境下，國內(nèi)清洗設(shè)備企業(yè)正直面生存和發(fā)展的問題。調(diào)查中發(fā)現(xiàn)，面對這場全球性的危機，電池清洗設(shè)備企業(yè)在擔憂的同時，應對未來發(fā)展持謹慎樂觀態(tài)度。擔憂的是這場風險對那些發(fā)展不好、實力不強的企業(yè)影響很大，樂觀的是清洗機行業(yè)仍然是全球和我國持續(xù)發(fā)展的新材料產(chǎn)業(yè)。過去幾年來，清洗機國內(nèi)產(chǎn)量快速增長和外貿(mào)出口量不斷加大，產(chǎn)業(yè)不斷擴張，這造成了當前大量清洗機開始“倒向”國內(nèi)市場。國內(nèi)清洗機行業(yè)因國內(nèi)外市場的需求萎縮，企業(yè)出現(xiàn)限產(chǎn)和停產(chǎn)的狀況。

在太陽能電池企業(yè)，目前在清洗制絨方式上采用的設(shè)備方式一般有三種：一種是效率不高但很實用的手動操作清洗設(shè)備；第二種是分體式全自動清洗，即清洗、制絨工序各用相關(guān)設(shè)備；第三種是目前較流行的一體式清洗機，從研磨片到電池片一步到位。以上三種方式各有利弊：手動操作盡管慢，但對于產(chǎn)量不大，人力成本低的廠家來說是很好的選擇；分體式清洗機對硅片參數(shù)要求不高，效率也比較高，較容易找出電池片出問題的所在；一體式清洗機效率高，自動化程度高，但對硅片尺寸要求嚴格，維護起來也不太方便。

制絨工藝比較復雜，不同公司有各自獨特的制絨方法?；镜墓に嚵鞒虨椋荷狭稀鶫F+HNO3腐蝕→QDR+氮氣鼓泡+噴淋→KOH腐蝕→QDR+氮氣鼓泡+噴淋→HCl腐蝕→QDR+氮氣鼓泡+噴淋→下料→離心機甩干（離線）。使用到的化學添加劑有兩種，一種是IPA（異丙醇），另一種是工業(yè)酒精。目前國內(nèi)的清洗制絨設(shè)備以達到了國際先進水平，體現(xiàn)在以下方面：全程PLC控制，觸摸屏操作；采用新型勻液及風道設(shè)計技術(shù)，降低清洗成本，減少污物的排放；新的密封隔離技術(shù)的使用，杜絕了生產(chǎn)過程中的微漏，保護整體電氣系統(tǒng)的安全；槽體配置可實現(xiàn)腐蝕后殘留在片子上的化學液及污染顆粒的沖洗祛除功能；大多采用機械手方式移動，工藝時間可以自行調(diào)節(jié)；酸堿槽具有自動補液裝置，可實現(xiàn)無間斷生產(chǎn)；整個清洗、制絨過程中使用環(huán)保的清洗制絨液，降低了后續(xù)處理成本；最重要的是融合熱氮烘干功能，取代甩干機，大大降低了碎片率。以上技術(shù)在調(diào)查中，基本以槽式機為主，在濕法制絨（連續(xù)式）及等離子（干法）制絨機方面國內(nèi)正在研發(fā)，試驗工藝已取得一定進展。

國內(nèi)清洗制絨設(shè)備企業(yè)

國內(nèi)清洗制絨設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)有以下三種狀態(tài)：一是從國有企業(yè)轉(zhuǎn)型的老牌電子或半導體設(shè)備制造企業(yè)，代表企業(yè)有：中電四十八所（能提供完整的電池生產(chǎn)線）、西北電子裝備技術(shù)研究所（中電二所）、中電四十五所、保定天威新能源等；二是新近崛起的典型電子或半導體企業(yè)，代表企業(yè)有：北京七星華創(chuàng)、深圳捷佳創(chuàng)、北京華林嘉業(yè)、北京中聯(lián)科利、蘇州華林科納、青島賽瑞達等；三是水處理或超聲波設(shè)備公司轉(zhuǎn)型，代表企業(yè)有：深圳市恒通源、深圳市和科達、張家港聲達超聲設(shè)備、深圳市超純水、深圳市純水一號、張家港德科超聲、上海睿鵬清洗設(shè)備等。

擴散爐：經(jīng)歷了開管――閉管――全封閉擴散三個階段，絕大部分電池企業(yè)采用國產(chǎn)裝備上個世紀60年代由于國產(chǎn)光伏電池裝備技術(shù)落后，無法滿足電池工藝生產(chǎn)，一些電池廠家先后從國外引進了鏈式擴散設(shè)備。1965年以前，這是我國擴散爐出現(xiàn)階段，擴散爐隨著半導體工藝的產(chǎn)生而出現(xiàn)，這一階段的國產(chǎn)擴散爐水平與國外水平差距不大。進入80年代我國電子工業(yè)專用裝備取得長足進展，電池生產(chǎn)用擴散設(shè)備回到管式擴散。2001年，中國電子科技集團48所與無錫尚德公司的攜手合作拉開了我國光伏電池生產(chǎn)用擴散設(shè)備技術(shù)與配套工藝飛速發(fā)展的序幕。短短的幾年時間里，我國光伏專用擴散設(shè)備經(jīng)歷了從處理125mm×125mm、156mm×156mm方硅片向210mm×210mm方硅片躍進；擴散的質(zhì)量從原來的單片和整管擴散均勻性在7％以內(nèi)的水平，提高到目前單片和整管擴散均勻性在4％以內(nèi)的國際先進水平；擴散方式從原來的開管擴散到現(xiàn)在的環(huán)保、潔凈、節(jié)能、安全的全封閉擴散；單批次產(chǎn)能從原來的150片、200片、300片發(fā)展到日前的400片；控制方式從原來的手動、PLC半自動控制到日前的微機全自動控制。目前我國光伏電池裝備市場上共有各類擴散設(shè)備上千多管，其中85％左右以處理125mm×125mm電池片為主，兼容156mm×156mm電池片，這其中又有90％以上為微機自動控制設(shè)備，只有不到10％為手動或PLC半自動產(chǎn)品。

技術(shù)特點在整機設(shè)備向全自動化、高生產(chǎn)效率、低成本擴散、操作人性化發(fā)展的同時，其核心單元技術(shù)如溫度控制將不可避免地采用更精細的控制方式（內(nèi)外熱偶串級控制技術(shù)等）。通過對加熱部件和負載同時監(jiān)控，確保實際工藝溫度長期重復、穩(wěn)定可靠；工藝氣體流量控制將從目前的模擬向數(shù)字MFC（質(zhì)量流量控制器）發(fā)展，以實現(xiàn)更穩(wěn)定的工藝氣體流量控制。今后幾年內(nèi)，整機將向減壓擴散、立式擴散、鏈式擴散等方向發(fā)展，以適應12＂及更大尺寸硅片的工藝要求，其單批次處理能力將達到更高的600～800片／批次。

國內(nèi)擴散爐生產(chǎn)企業(yè)推薦

1、中電四十八所（長沙）：中電四十八所事業(yè)二部承擔著擴散爐等其他太陽能光伏設(shè)備的生產(chǎn)，2008年，成功研制出了新型閉管擴散爐――全封閉推舟軟著陸擴散爐，2008年銷售數(shù)百臺之多，截至目前市場占有率在80%左右。包括其他光伏設(shè)備在內(nèi)，2008年銷售收入達10、15億元，新簽單5億多元。另外，2008年相繼為江西佳輝、神州光電等單位數(shù)十條生產(chǎn)線提供了除絲印機之外的整線裝備。今年一季度，中電四十八所銷售額達到收入4、1875億元，比去年同期增長70%以上，真正實現(xiàn)了在金融危機影響下彎道不減速。四十八所新型擴散爐，單管產(chǎn)能高達400片，在產(chǎn)能提高33%的同時，能源消耗降低50%以上，廢氣排放降低到原來開管擴散的1/10，能耗降低20%左右，平均單位擴散成本降低20%以上。成功突破了爐門自動密封、尾進尾出送氣、廢氣自動收集、三維送片機構(gòu)調(diào)整等多項關(guān)鍵技術(shù)。達到國際先進水平的大生產(chǎn)用新型太陽能電池生產(chǎn)專用擴散設(shè)備，價格卻只有進口同類設(shè)備的1/3。

2、北京七星華創(chuàng)：北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司（簡稱“七星電子”）傳承五十多年電子裝備及元器件的生產(chǎn)制造經(jīng)驗，于2001年9月成立。七星華創(chuàng)于2007年研制出新型擴散爐，具有四套獨立的工藝爐管，關(guān)鍵件全部采用進口件，采用進口智能控制器，可輸出四個開關(guān)量，對爐溫、閥門動作進行自動控制，并管理全部工藝時序，可編輯存貯十條工藝曲線實現(xiàn)為實現(xiàn)閉管擴散工藝，所以必須進行爐口密封，在這方面，七星華創(chuàng)經(jīng)過無數(shù)次的試驗，包括數(shù)次失敗的考驗，最終解決了這個棘手的難題：即在沒有任何水冷條件下，在工藝溫度高達900℃時，采用普通氟橡膠密封圈能夠使工藝管密封，并能夠長期工作。

3、株洲眾欣科技：株洲眾欣科技專注于磁流體領(lǐng)域，公司創(chuàng)辦人羅喜梅女士是國內(nèi)第一個把磁流體技術(shù)進行產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)并運用到真空領(lǐng)域的研發(fā)型企業(yè)家。2007年，眾欣科技通過和國內(nèi)的大專院校的多名專家學者細致交流，然后進行了大量的市場實際調(diào)查，眾欣科技認為擴散在電池片當中，起到?jīng)Q定性的作用。從提高轉(zhuǎn)換率以及降低生產(chǎn)成本出發(fā)，在現(xiàn)有市場上使用的擴散爐技術(shù)方面進行了革新，成功研發(fā)出新型“氣旋動態(tài)”擴散爐，截至目前已成功銷售3臺臥式“氣旋”擴散爐。對于“動態(tài)”擴散的定義，眾欣科技是這樣解釋的，這是一個相對的概念，主要是針對硅片而言，現(xiàn)在市場上的硅片在擴散的過程當中都是靜止不動的，而眾欣的動態(tài)擴散，就是硅片在整個擴散過程中是一個運動的狀態(tài)。由于硅片主動地尋找擴散，而不是象原來的被動擴散，所以這個動態(tài)擴散的均勻性在遠離上面確實可行，該擴散爐最大的特點體現(xiàn)在擴散的效果上：保持方塊電阻片內(nèi)均勻性在3歐姆之內(nèi)，源的使用量減少使用量三分之一。今年七月，眾欣科技將為湘潭一企業(yè)提供六管動態(tài)擴散爐，即25MW生產(chǎn)線。同時，根據(jù)市場的需要，眾欣科技也可以提供動態(tài)擴散改造服務(wù)，為電池片生產(chǎn)廠家節(jié)約大量的生產(chǎn)成本和運行費用。

4、青島賽瑞達：青島賽瑞達設(shè)備制造有限公司由北京昊海立德科技有限公司注資的高新技術(shù)企業(yè)，是集開發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的專業(yè)廠家。具有自主研制、設(shè)計和開發(fā)半導體專用工藝設(shè)備、包裝機械、智能化儀表等產(chǎn)品的能力，同時可根據(jù)用戶的不同需求進行設(shè)計和開發(fā)，并且具備改造、裝備國外二手設(shè)備的能力。該公司擴散爐為閉管磷擴散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、CL2分開收集處理，工藝廢氣集中收集從尾部定向排出，各種工藝氣體可分開送入石英管內(nèi)，工藝氣體（三氯氧磷）可采用噴淋式方式引入到石英管內(nèi)，采用懸臂式推拉舟送取電池片，另采用側(cè)面布局的懸臂推拉結(jié)構(gòu)，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機構(gòu)受腐蝕，影響推拉機構(gòu)的精確性。

等離子刻蝕機――干法腐蝕設(shè)備全部國產(chǎn)為主，少量濕法腐蝕設(shè)備需要進口

由于在擴散過程中，即使采用背靠背擴散，硅片的所有表面包括邊緣都將不可避免地擴散上磷。PN結(jié)的正面所收集到的光生電子會沿著邊緣擴散有磷的區(qū)域流到PN結(jié)的背面，而造成短路。因此，必須對太陽能電池周邊的摻雜硅進行刻蝕，以去除電池邊緣的PN結(jié)。通常采用等離子刻蝕技術(shù)完成這一工藝，等離子刻蝕是在低壓狀態(tài)下，反應氣體CF4的母體分子在射頻功率的激發(fā)下，產(chǎn)生電離并形成等離子體。等離子體是由帶電的電子和離子組成，反應腔體中的氣體在電子的撞擊下，除了轉(zhuǎn)變成離子外，還能吸收能量并形成大量的活性基團?；钚苑磻鶊F由于擴散或者在電場作用下到達SiO2表面，在那里與被刻蝕材料表面發(fā)生化學反應，并形成揮發(fā)性的反應生成物脫離被刻蝕物質(zhì)表面，被真空系統(tǒng)抽出腔體。在等離子體刻蝕機使用過程中，等離子體不能一直保持在某一穩(wěn)定狀態(tài)，有許多因素會對刻蝕機系統(tǒng)產(chǎn)生擾動，如刻蝕機的定期維護（PM）、反應腔室內(nèi)壁聚合物的沉積、設(shè)備部件的老化（傳感器及各種其他容易磨損的部件），以及未經(jīng)測量的進入反應腔室的晶片狀態(tài)的差異等。在不同的時間尺度范圍內(nèi)，刻蝕機產(chǎn)生漂移的原因是不同的，因而需要采用相應的控制類型加以控制。PM與PM之間，刻蝕機要經(jīng)歷定期的清洗、部件的更換和維修等，這些都能對刻蝕工藝產(chǎn)生影響?？涛g機定期維護的目的是讓反應腔室每次都能恢復到同樣的理想狀態(tài)，而這通常是很難達到的。因而會在前一個刻蝕機定期維護快結(jié)束之時到下一次刻蝕機定期維護開始后的一段時間發(fā)生工藝狀態(tài)的不連續(xù)。在一個刻蝕機定期維護周期之內(nèi)，刻蝕機狀態(tài)的改變主要是由于刻蝕產(chǎn)生的殘余聚合物在反應腔室內(nèi)的沉積，以及易損件及可更換部件的磨損所引起的。

干法刻蝕（ICP）是目前主流的刻蝕設(shè)備工藝，它采用射頻輝光放電將參與反應的化學氣體電離形成等離子體，通過對刻蝕參數(shù)精確的控制和測量，把光刻形成的電路圖轉(zhuǎn)移到硅片上形成三維結(jié)構(gòu)。其間融合了等離子體、射頻、超高真空、自動化控制等多種尖端技術(shù)，是電池片制造過程中至關(guān)重要的一環(huán)。綜觀國內(nèi)刻蝕設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)，具有以下特點：采用片架旋轉(zhuǎn)密封技術(shù)，提高刻蝕的均勻性；硅片放置自動壓緊技術(shù)，減少了鉆蝕風險；ICP技術(shù)的形成及引入，提高了設(shè)備的各種效率；特別是大容量反應室的設(shè)計，大大提高了電池片的處理能力。

國內(nèi)等離子刻蝕機設(shè)備企業(yè)推薦

1、中科院微電子研究所：中國科學院微電子研究所“六五”、“七五”、“八五”、“九五”一直承擔等離子刻蝕技術(shù)領(lǐng)域的國家科技攻關(guān)項目。研究成功深亞微米刻蝕技術(shù)并先后研制生產(chǎn)了實驗研究用RIE、MERIE和ICP高密度等離子體刻蝕機系列。該研究所的SE―3型刻蝕機通過PLC完成刻蝕太陽能電池的程序控制功能，能完成除了裝片和卸片以外的全部生產(chǎn)過程的連續(xù)動作和自動保護等功能。具有良好的人機界面，使用方便、重復性好。另外，該機型因鉆蝕引起的硅片邊緣損耗?。s1mm左右），有利于提高太陽能電池片的效率，且每批的一致性相當好，刻蝕片超過500片/次，工藝過程全部實現(xiàn)自動控制。

2、中電四十八所：四十八所刻蝕機具有以下特點，采用立式感應耦合等離子體（ICP）技術(shù)；工藝過程全自動控制，壓力閉環(huán)全自動控制；工藝重復性好，刻蝕速度快（6寸電池片1200片以上/每小時，5寸電池片2000片左右/每小時）；批處理時間短、產(chǎn)量大；所有電氣元件均采用插拔式，便于維修和更換；適用于大批量生產(chǎn)。真空泵是干泵，MFC、真空規(guī)等都是MKS的。如行業(yè)內(nèi)知名的Q―Cell、Sharp、BP等企業(yè)都在用四十八所的干法刻蝕設(shè)備。

3、武漢三工：三工相關(guān)負責人解釋該公司刻蝕設(shè)備時講道，三工的激光絕緣電池片刻蝕機可以代替等離子刻蝕，該設(shè)備采用半導體端面泵浦紫外激光器及掃描振鏡輸出方式，與生產(chǎn)流水線配合，自動上下料，自動進出料。CCD自動識別跟蹤定位，可以滿足生產(chǎn)線節(jié)拍（1200片/小時）。這是在電池片生產(chǎn)過程中少數(shù)的激光刻蝕設(shè)備。

4、北京七星華創(chuàng)：七星華創(chuàng)生產(chǎn)兩種類型的刻蝕機，分別為MCP刻邊機及周邊刻蝕系統(tǒng)。其中，MCP刻邊機采用不銹鋼材質(zhì)做反應腔室，解決了同類產(chǎn)品石英腔體在使用過程中，頻繁更換腔體帶來的消耗，降低了維護成本。另外電極內(nèi)置，克服了石英腔體外置電極在空氣中易產(chǎn)生臭氧及射頻泄漏的危害，提供了良好的使用環(huán)境。電池片處理數(shù)量在400―800片/批（特別適用于25MW―30MW生產(chǎn)線）。周邊刻蝕系統(tǒng)可處理硅片尺寸156×156mm，處理能力在300片/小時，真空壓力調(diào)節(jié)形式為自動。

去磷硅玻璃（PSG）設(shè)備全部國產(chǎn)，基本以清洗設(shè)備制造企業(yè)為代表該設(shè)備用于光伏電池片生產(chǎn)制造過程中，通過化學腐蝕法也即把硅片放在氫氟酸溶液中浸泡，使其產(chǎn)生化學反應生成可溶性的絡(luò)和物六氟硅酸，以去除擴散制結(jié)后在硅片表面形成的一層磷硅玻璃。在擴散過程中，POCL3與O2反應生成P2O5淀積在硅片表面。P2O5與Si反應又生成SiO2和磷原子，這樣就在硅片表面形成一層含有磷元素的SiO2，稱之為磷硅玻璃。去磷硅玻璃的設(shè)備一般由本體、清洗槽、伺服驅(qū)動系統(tǒng)、機械臂、電氣控制系統(tǒng)和自動配酸系統(tǒng)等部分組成，主要動力源有氫氟酸、氮氣、壓縮空氣、純水，熱排風和廢水。國產(chǎn)去除PSG設(shè)備關(guān)鍵件大多采用進口件，產(chǎn)能在1800―2400片左右/小時（大多適合于25MW―30MW生產(chǎn)線）。

國內(nèi)去除PSG設(shè)備基本以本文上期介紹的清洗設(shè)備廠家生產(chǎn)為主，故不再概述。

管式PECVD基本國產(chǎn)，平板式PECVD國內(nèi)已研發(fā)出來，已面市PECVD設(shè)備，通過沉積氮化硅膜來實現(xiàn)太陽能電池減反射以及鈍化的效果。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體進行化學氣相沉積的過程。其特點是電子密度高、電子平均能量大，富含大量化學氣相沉積的活性粒子和自由基，并且沉積溫度低。在采用SiH4和NH3作為源氣體沉積SiNx薄膜的過程中，由于大量氫原子的存在，使所生成的薄膜除了注冊香港公司具有減反射性能外，兼具有良好的表面和體鈍化性能，這是因為在離子的轟擊下，氫原子更容易擴散進入薄膜體內(nèi)，從而提高膜的體鈍化效果。不僅如此，PECVD等離子體中由于含有高密度的離子，這些具有一定動能的離子對沉積的減反射鈍化膜進行轟擊，還會提高膜的質(zhì)密性和應力。故PECVD設(shè)備是晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線制備減反射鈍化膜的主要設(shè)備。與此同時，PECVD設(shè)備也是整條太陽能電池生產(chǎn)線的核心設(shè)備之一，應用于晶體硅太陽電池生產(chǎn)線的PECVD設(shè)備價格已經(jīng)占到了整條線設(shè)備價格的三分之一左右，是所有設(shè)備中比重最大的一部分。國內(nèi)第一臺半導體用PECVD設(shè)備是由中科院沈陽科學儀器研制中心有限公司研發(fā)的，零部件國產(chǎn)化率達到了70%左右。目前市場上主流的PECVD設(shè)備技術(shù)按照反應器結(jié)構(gòu)和等離子體發(fā)生源的不同，分為直接式PECVD和間接式PECVD。直接式即樣品直接接觸等離子體，樣品或樣品的支撐體就是電極的一部分；間接式或稱離域式即待沉積的樣品在等離子區(qū)域之外，等離子體不直接打到樣品表面，樣品或其支撐體也不是電極的一部分。

直接式又分成兩種：一種為管式PECVD系統(tǒng)，即使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進石英管中進行沉積。這種設(shè)備的主要制造商為德國的Centrotherm公司、中國的第四十八研究所、七星華創(chuàng)公司。另一種為平板式PECVD系統(tǒng)，即將多片硅片放置在一個石墨或碳纖維支架上，放入一個金屬的沉積腔室中，腔室中有平板型的電極，與樣品支架形成一個放電回路，在腔室中的工藝氣體在兩個極板之間的交流電場的作用下在空間形成等離子體，分解SiH4中的Si和H，以及NH3種的N形成SiNx沉積到硅表面。這種沉積系統(tǒng)目前主要是日本島津公司在進行生產(chǎn)。

但與管式PECVD設(shè)備相比，平板式PECVD具備產(chǎn)能大、裝卸片容易，易于自動化集成等優(yōu)點，但到目前為止，國產(chǎn)設(shè)備市場上仍未真正出現(xiàn)相關(guān)的成熟產(chǎn)品，但國產(chǎn)樣機已完成研發(fā)，單元技術(shù)獲得一定的突破，部分關(guān)鍵零部件仍然要依賴進口，工藝結(jié)果及穩(wěn)定性有待進一步驗證。在確保中低端設(shè)備持續(xù)向前發(fā)展的勢頭下，開發(fā)具有更高自動化水平和單機生產(chǎn)效率的高端設(shè)備，提高整線生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，是太陽能電池制造設(shè)備發(fā)展的必然方向。大型平板PECVD設(shè)備的國產(chǎn)化，正令國內(nèi)客戶翹首以待。令人欣慰的是，國產(chǎn)平板PECVD設(shè)備的開發(fā)也確實正在緊鑼密鼓的進行當中，由北京北方微電子公司進行的大型平板PECVD設(shè)備的自主研發(fā)，目前已經(jīng)接近尾聲，并于2009年第二季度推向市場。

國產(chǎn)PECVD設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)推薦

1、北方微電子：北方微電子研發(fā)的平板型PECVD設(shè)備成膜的均勻性、折射率、減反射效果以及各種工藝技術(shù)指標都達到了世界先進水平，經(jīng)過反復測試，具有良好的穩(wěn)定性和可維護性。采用獨有的反應室結(jié)構(gòu)設(shè)計，提升反應室內(nèi)等離子場、溫度場、流體場和壓力場的均勻性，確保膜層具有優(yōu)良性能。采用10×10片的在線式架構(gòu)設(shè)計，實現(xiàn)每小時1500片的設(shè)計產(chǎn)量；可擴展多工藝腔設(shè)計，按照客戶需求實現(xiàn)更大產(chǎn)能。該產(chǎn)品于今年二季度末推向市場，北方微電子建立了專門的電池生產(chǎn)線用于該產(chǎn)品測試。

2、中電四十八所：中國電子科技集團公司第四十八研究所2002年開始研制M82200―1／UM型生產(chǎn)型軟著陸管式PECVD設(shè)備，經(jīng)過大量工藝試驗，多晶硅太陽能電池平均轉(zhuǎn)換效率在14．5％―15．5％之間，單晶硅太陽能電池平均轉(zhuǎn)換效率在16％―17％，基本接近國外設(shè)備的先進水平。該管式設(shè)備采用了國內(nèi)獨一無二的、與國際先進水平相當?shù)能浿懲浦鬯推?、后電極自動連接、自動精密真空門等先進技術(shù)，在產(chǎn)能提高一倍的同時，使氮化硅成膜質(zhì)量又一次得到提高，每管日產(chǎn)量4000片左右，目前已在多家太陽能生產(chǎn)線上使用，運行狀況良好，在國內(nèi)生產(chǎn)型設(shè)備中處于領(lǐng)先地位。

3、北京七星華創(chuàng)：七星華創(chuàng)研究薄膜淀積技術(shù)和相關(guān)設(shè)備已多年，在“八五”攻關(guān)的工程中，研制生產(chǎn)的PECVD系統(tǒng)獲得國家科技進步二等獎。但該公司以前的PECVD設(shè)備主要應用于IC行業(yè)，在此基礎(chǔ)上七星華創(chuàng)對設(shè)備進行較大的改進以適應于太陽能行業(yè)。在做了大量試驗并參考了國外設(shè)備之后，最終于2007年成功研制出了雙管臥式熱壁型PECVD設(shè)備，并在當年銷售四臺設(shè)備，銷售收入超過500多萬元。該設(shè)備采用石墨制作裝片舟用來承載硅片，并根據(jù)實際使用情況不斷改進其結(jié)構(gòu)，逐步完善石墨舟的設(shè)計，使其更加適用于大規(guī)模太陽能電池生產(chǎn)線，目前每管生產(chǎn)率達96片/45min。在如何引入電極的方式上，也做了大膽的創(chuàng)新。該PECVD設(shè)備與進口同類設(shè)備所用的尾部電極引入方式不同，采用了由爐門處引入電極的前引入方式，此方式與電極后引入方式相比，引入結(jié)構(gòu)更加安全可靠，尤其利于設(shè)備的維護。通過該設(shè)備在單/多晶硅基底上所生長的減反射膜，在片內(nèi)、片間和批間的均勻性和一致性都達到了國際同類產(chǎn)品水平。該設(shè)備已成功應用于國內(nèi)多家電池生產(chǎn)線，并出口至新加坡等國家。

4、青島賽瑞達：賽瑞達PECVD設(shè)備為管式，采用進口壓力控制、閉環(huán)系統(tǒng)及進口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門。有毒害尾氣定向收集、集中處理排放，裝片數(shù)量為250片/每爐管，采用軟著陸懸臂式推拉舟送取片方式。

5、上海航天機電：上海航天機電與上海太陽能科技有限公司于2008年成功研制了太陽能光伏用平板型PECVD，該設(shè)備通過了上海市科技攻關(guān)計劃《半導體器件制造工藝關(guān)鍵裝備技術(shù)的研究》項目驗收，樣機在上海太陽能科技有限公司生產(chǎn)線上實際運作半年以上并取得良好效果。上海航天汽車機電公司此次研發(fā)的光伏生產(chǎn)線核心裝備PECVD設(shè)備涵蓋了PECVD薄膜工藝技術(shù)、光機電一體化技術(shù)、真空技術(shù)、微波技術(shù)、電子與信息技術(shù)（包括自動化技術(shù)、計算機軟件技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)通信技術(shù)等）、節(jié)能技術(shù)等多項技術(shù)領(lǐng)域，整個研發(fā)過程耗時3年多，在研發(fā)過程中采用了多項國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進的技術(shù)，各項技術(shù)指標均達到同類設(shè)備的國際先進水平，部分性能優(yōu)于進口設(shè)備，可以完全取代同類進口設(shè)備，打破了國

外設(shè)備的技術(shù)壟斷，使整個裝備的國產(chǎn)化率超過80％。

絲網(wǎng)印刷機：絲網(wǎng)印刷機手動全部國產(chǎn)，全自動絲網(wǎng)印刷機于去年已推向市場

太陽電池經(jīng)過制絨、擴散及PECVD等工序后，已經(jīng)制成PN結(jié)，可以在光照下產(chǎn)生電流，為了將產(chǎn)生的電流導出，需要在電池表面上制作正、負兩個電極。制造電極的方法很多，而絲網(wǎng)印刷是目前制作太陽電池電極最普遍的一種生產(chǎn)工藝。絲網(wǎng)印刷是采用壓印的方式將預定的圖形印刷在基板上，該設(shè)備由電池背面銀鋁漿印刷、電池背面鋁漿印刷和電池正面銀漿印刷三部分組成。其工作原理為：利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)孔透過漿料，用刮刀在絲網(wǎng)的漿料部位施加一定壓力，同時朝絲網(wǎng)另一端移動。油墨在移動中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。由于漿料的粘性作用使印跡固著在一定范圍內(nèi)，印刷中刮板始終與絲網(wǎng)印版和基片呈線性接觸，接觸線隨刮刀移動而移動，從而完成印刷行程。目前在國內(nèi)，手動及半自動絲網(wǎng)印刷機已實現(xiàn)量產(chǎn)，并成功應用于電池生產(chǎn)線，全自動絲網(wǎng)印刷機已有研發(fā)，由深圳市網(wǎng)印巨星推出的全自動絲網(wǎng)印刷機已實現(xiàn)生產(chǎn)，正在電池生產(chǎn)線中進行測試，各項數(shù)據(jù)已達到國際先進水平。而擁有更高定位精度的新一代半自動絲網(wǎng)印刷機已經(jīng)在主流廠商試用。

國內(nèi)絲網(wǎng)印刷機生產(chǎn)企業(yè)推薦

1、深圳網(wǎng)印巨星：成立于2000年的深圳網(wǎng)印巨星機電設(shè)備有限公司，是國內(nèi)致力于高精度、自動化、智能化絲網(wǎng)印刷機械設(shè)計制造的專業(yè)企業(yè)。2006年該公司的主要產(chǎn)品絲網(wǎng)印刷機通過了歐盟的CE認證，是國家標準化委員會絲網(wǎng)印刷機械國家標準主要制定單位。目前該公司在太陽能電池制造領(lǐng)域，涉及半自動絲網(wǎng)印刷機及全自動絲網(wǎng)印刷機兩大類產(chǎn)品。

2、中電四十五所：中國電子科技集團第四十五研究所在絲網(wǎng)印刷領(lǐng)域涉及三種產(chǎn)品，分別為半自動絲網(wǎng)印刷機，該機為手動上下料，自動印刷，適合中小型太陽能生產(chǎn)線中硅片的印刷。另外還有精密網(wǎng)版印刷機、視覺對位網(wǎng)版印刷機。三個型號的絲網(wǎng)印刷機已裝備了國內(nèi)40多條太陽能電池生產(chǎn)線和試驗線。四十五所在成功研制半自動絲網(wǎng)印刷機及全自動LTCC絲網(wǎng)印刷機的技術(shù)基礎(chǔ)上針對太陽能電池印刷的技術(shù)特點，進行大量的調(diào)查研究，重點解決自動圖像對準技術(shù)、柔性傳輸技術(shù)、大直徑四工位高精度高速旋轉(zhuǎn)任務(wù)臺設(shè)計制造技術(shù)、自動烘干控制技術(shù)、基片測試分選技術(shù)、智能化控制技術(shù)、軟件控制技術(shù)等7項關(guān)鍵技術(shù)，成功研制出用于太陽能電池基片的背鋁、背銀和正銀印刷、烘干、燒結(jié)、測試、分選的全自動生產(chǎn)線。該生產(chǎn)線主要包括1臺自動上料機、3臺自動視覺對準絲網(wǎng)印刷機、2臺烘干爐、1臺燒結(jié)爐、1臺測試分選機等8個部分，各部分協(xié)調(diào)任務(wù)，不需要人為干預。

3、昆山合信：昆山合信太陽能設(shè)備有限公司是一家以研發(fā)、生產(chǎn)、銷售太陽能電池絲網(wǎng)印刷機、厚膜印刷機等設(shè)備的企業(yè)。該公司目前有半自動及全自動兩種類型的絲網(wǎng)印刷機，基本以代理銷售為主。

4、萊茵茜斯田（天津）：該公司跟據(jù)市場所需，研發(fā)出了全自動太陽能電池專用絲網(wǎng)印刷機，該產(chǎn)品引用先進的韓國技術(shù)研發(fā)而成，主體構(gòu)造有影像系統(tǒng)全自動絲網(wǎng)印刷機及近紅外線烘干設(shè)備組成，不僅能印刷太陽能電池核心部位的電極，還可進行高品質(zhì)印刷，且印刷后干燥速度快（從印刷到干燥最多用3、5秒），可大大提升生產(chǎn)能力。同時，此款全自動太陽能電池專用絲網(wǎng)印刷機還可在印刷全過程中監(jiān)控承印物的破壞與否，而采用自動刮膠調(diào)節(jié)壓力感應器裝置，能維持均勻的壓力，并可維持均一的印刷厚度，新概念的校位方式保證了低不良率，在價格上比歐美進口設(shè)備要更為低廉。

高溫燒結(jié)爐國內(nèi)生產(chǎn)研發(fā)技術(shù)明顯提高，開始批量在大生產(chǎn)線使用，但進口仍占多數(shù)

經(jīng)過絲網(wǎng)印刷后的硅片，不能直接使用，需經(jīng)燒結(jié)爐快速燒結(jié)，將有機樹脂粘合劑燃燒掉，剩下幾乎純粹的、由于玻璃質(zhì)作用而密合在硅片上的銀電極。當銀電極和晶體硅在溫度達到共晶溫度時，晶體硅原子以一定的比例融入到熔融的銀電極材料中去，從而形成上下電極的歐姆接觸，提高電池片的'開路電壓和填充因子兩個關(guān)鍵參數(shù)，使其具有電阻特性，以提高電池片的轉(zhuǎn)換效率。燒結(jié)爐分為預燒結(jié)、燒結(jié)、降溫冷卻三個階段。預燒結(jié)階段目的是使?jié){料中的高分子粘合劑分解、燃燒掉，

此階段溫度慢慢上升；燒結(jié)階段中燒結(jié)體內(nèi)完成各種物理化學反應，形成電阻膜結(jié)構(gòu)，使其真正具有電阻特性，該階段溫度達到峰值；降溫冷卻階段，玻璃冷卻硬化并凝固，使電阻膜結(jié)構(gòu)固定地粘附于基片上。目前在國內(nèi)高溫燒結(jié)爐產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)上取得了突破，主要體現(xiàn)在以下幾方面：尖峰燒結(jié)溫度曲線的形成與控制；均勻熱場形成技術(shù)；快速冷卻技術(shù)以及充分的排膠設(shè)計。